KOFLOC 科赋乐 质量流量控制器 MFC 与质量流量计 MFM区别

MFM 质量流量计只做流量检测；MFC 质量流量控制器 = 流量计 + 闭环控制阀，既能测流量，又可以自动稳定控制流量，二者经常容易混淆，均采用热式气体质量传感，测量为质量流量，不受温度、压力变化带来体积流量误差。

质量流量计 MFM内部搭载热式流量传感器，没有流量调节阀门，仅负责检测气体实际质量流量，输出流量信号给到上位机。当上游气源压力波动时，管路实际流量会跟随压力发生变化，设备只能采集读数，无法自动把流量维持在设定数值。多用于工艺流量记录、气体消耗量统计、流量监控，不能做闭环控流。科赋乐 5400、8500 系列属于 MFM 质量流量计。

质量流量控制器 MFC集成流量传感器、驱动比例阀、控制电路板，属于闭环控制单元。外部输入流量设定信号，控制器对比设定流量与传感器采集的实际流量差值，实时调整内置阀门开度。即使进气压力、环境温度出现波动，也能够把输出气体稳定在目标流量，断电时内置阀门为常闭状态，自动切断气路，提升工艺安全。

KOFLOC 科赋乐主流 MFC 系列3660 系列：通用经济型，体积小巧，常闭阀，响应速度快，适配实验室、分析仪器、科研装置，支持低压差规格。EX 系列：数字型全金属密封，RS485 通讯，精度 ±1% SP，可应对腐蚀性气体，多用于半导体、镀膜工艺。ST‑500PI 系列：压力不敏感型 MFC，内置压力补偿，气源压力波动也可以保持流量稳定，全金属隔膜密封，泄漏率低，半导体、锂电设备使用较多。DF‑300 系列：机身自带数显屏幕，本机可直接设置流量，模拟、数字双接口，现场调试便捷。

科赋乐产品核心优势热式传感无运动部件，机械磨损小，零点漂移表现稳定；阀体常闭结构，断电自动关气；密封配置丰富，橡胶密封用于普通气体，全金属电解抛光密封用于高纯、腐蚀性气体；支持 0‑5V、4‑20mA 模拟信号与 RS485 数字通讯；提供低压差型号，适合供气压力偏低的系统。

应用领域半导体真空工艺、动态气体配比装置、实验室气氛反应设备、锂电池生产、燃料电池测试、环境在线监测仪器、分析检测设备。