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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 半导体 |
产品主要分为C系列(防静电干式) 和F系列(耐化学腐蚀湿式),通过不同的阀门逻辑和接头设计来适应各种场景。
核心型号与阀门逻辑
C001 / F001:常闭型 (NC),按下按钮时产生真空吸附,松开即释放。适合短时、高频的点动拾取。
C002 / F002:常开型 (NO),通气后即保持吸附,按下按钮释放。适合需要长时间持料转移的场景。
C003 / F003:常开带开关型 (NO+SW),在C002基础上增加独立吸力锁止开关,可锁定负压,解放手指。
C007 / F007:吹气释放型,配合FV-W双向真空泵使用。按下按钮可切换为正压吹气,用柔和气流将工件吹离吸头,专门解决超薄工件易粘连的难题。
接头与吸头
接头(轴连接方式):X为万向球接头(可40度弯曲,灵活多角度);Y为固定直柄接头(结构刚性强,适合较重工件);Z为弹簧夹头型(便于快速更换吸头)。
吸头:C系列常用CP(导电PEEK)吸头,尺寸从90到99,适配不同大小晶圆。F系列常用01/06/15等规格,材质可选3F (PCTFE)、PK (PEEK)、VP (Vespel) 等耐化学材料。
主体材质:C系列为碳纤维增强导电尼龙;F系列为4F-PTFE(特氟龙) 全氟材质。
吸头材质:主要为导电PEEK(C系列)或PEEK、PCTFE、Vespel(F系列),经镜面抛光,低发尘、不划伤晶圆。
尺寸与重量:本体长度约145mm,宽度约14mm,整体轻量化,适合长时间操作。
工作负压:0 ~ -80 kPa(无级调压),确保对不同工件都有合适的吸附力。
适配管径:Φ3×5 或 Φ4×6 真空软管。
洁净等级:适配Class 10 - Class 1000无尘室。
半导体制造:晶圆(硅、碳化硅)在无尘室的干式转运、芯片/Die拾取分拣、探针台上下料、封装测试。
湿法工艺:使用F系列在酸蚀、清洗、显影等工序中搬运晶圆,耐强酸强碱腐蚀。
精密电子与光学:Mini/Micro LED基板、光学镜片、陶瓷薄片、微型传感器的无损取放。
特殊应用:C007/F007型号配合FV-W泵,专用于超薄晶圆、薄片器件等易粘连工件的吹气释放。
干湿环境区分:干式无尘环境选C系列(防静电);湿法/酸碱环境选F系列(耐化学腐蚀)。
操作习惯匹配:根据是习惯“按住吸附" (C001)、 “常态吸附" (C002/C003),还是需要“吹气释放" (C007) 来选择阀门型号。
工件与接头:小尺寸芯片可选X万向接头灵活操作;大尺寸晶圆或较重工件建议Y型固定接头保证刚性。超薄易粘连工件优先考虑C007/F007吹气释放系列。
我司优势品牌一览明细:
CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、PFERD马圈、TEMTOP乐控、JIKCO吉高
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、OTSUKA大塚电子、TSUBAKI椿本、NFK南国工业、MIYUKI 美幸辉
NS日本科学、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、EBARA荏原、ULVAC爱发科、TORAY东丽
RIYYO理阳、WATSON沃森、KAKUHUNTER写真化学、HEIDON新东科学、NIKKATO日陶、ULVAC爱发科等
USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND爱安德、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤,INTECS,RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:真空泵、真空阀、流量计、除静电、加热器、日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计
恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪
接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等

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