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| 品牌 | SIMCO/思美高 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 半导体 |
Model 5832 的核心优势在于其内置的自动平衡校正系统,能确保离子持续精准到达目标,显著节省时间和成本。通过选配外部传感器或 Novx 反馈/控制系统,其离子平衡精度可进一步提升至优于 ±1V。
稳态直流电离:采用稳态直流电晕放电技术,每个风扇配备8个钛合金发射点,可稳定产生离子。
高精度平衡:标准配置下平衡为 ±3V 或更优。若配合 Novx Inside 或 Novx System 版本,平衡精度可达 ±1V,满足的静电敏感工艺要求。
Auto-Clean 自动清洁系统:在风机开启/关闭或预设时间间隔自动清洁发射点,也可通过设施监控系统(FMS)远程激活,大幅降低维护成本。
全面监控与连接:支持设施监控系统(FMS)连接,并提供声音报警选项。前置LED指示灯可显示电源、风机停转及故障状态。
高湿度适应性:更高密度的发射点和内部电路设计,使其能够满足高湿度应用环境的需求。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 输入电压 | 24 VDC, 470 mA max |
| 消散时间 | < 2秒 @ 30.5 cm (±1000V → ±100V);加装准直器后 < 1秒 |
| 离子平衡 | ±3V 或更优;配合 Novx 系统可达 ±1V |
| 风量 | 129 CFM (典型值) |
| 洁净室等级 | ISO 14644-1 Class 3 |
| 工作环境 | 温度 10-32°C,湿度 30-70% RH (无冷凝) |
| 臭氧产生量 | 0.005 ppm (典型值) |
| 噪音 | 高速 61 dB,低速 52 dB @ 30.5 cm |
| 尺寸 (含支架) | 18.47 × 17.65 × 7.54 cm |
| 重量 | 1.0 kg (不含准直器) |
| 外壳材质 | 铝制底盘,环氧聚酯粉末涂层 |
5832 系列通过不同的后缀来区分功能配置。常见的订货型号包括:
| 型号 | 配置说明 |
|---|---|
| 91-5832-01 | 5832 标准型离子风机 |
| 91-5832-01A | 5832 标准型,带声音报警功能 |
| 91-5832A-01 | 5832 带天线连接口(用于 Novx Inside 系统) |
| 91-5832N | 5832 带 Novx System 反馈控制功能(RJ-11接口) |
| 5832-M90 | 5832 带角度准直器、声音报警及电源适配器 |
| 5832N-M90 | 5832N(Novx系统)+ 角度准直器 + 声音报警 + 电源适配器 |
相关配件:
角度准直器(Angled Collimator):可引导离子化空气直接吹向目标,并缩短消散时间。
Novx 7000 过程监控器 及 Novx 3352/3362 控制器:用于实现 ±1V 的闭环平衡控制。
半导体制造:后端半导体处理(Back-end Semiconductor Processing)。
数据存储:硬盘驱动器(Disk Drive)制造。
高可靠性制造:航空航天与医疗设备制造。
其他关键环境:需要高质量ESD防护的Class 0环境及高湿度环境。