日本SONIC索尼克是专业从事超声波测量设备研发制造的企业，其产品广泛应用于气象防灾、风电、隧道通风、半导体洁净车间、流体科研等领域。DA-700是SONIC旗下的三维超声波风速温度计，配套专用探头使用，采用超声波时差法实现三维风速分量和声温的精准测量，无机械可动部件，从微风（0m/s）到强风均可实现高响应、高线性度的测量。
SONIC索尼克 3D超声波风速温度计探头TR-61CSONIC索尼克 3D超声波风速温度计探头TR-61C

核心技术：超声波时差法

DA-700采用时分发送/接收切换式超声波脉冲方式，计算方法为超声波传播时间倒数差演算法。设备配有多组超声波探头，分时交替发射和接收超声波脉冲，通过时间倒数差算法直接解算三维风速分量（X/Y/Z轴），再经矢量合成得出实时水平风速、风向及垂直分量风速。

该算法的核心优势在于自动抵消温度漂移干扰。SONIC采用的倒数差算法在运算中直接抵消声速的温度变化影响，基础测量无需额外温度补偿即可实现低温漂高精度测量。

探头型号与测量范围

DA-700主机需搭配专用探头使用，SONIC提供7种探头可选，覆盖从微风到强风的不同测量需求。

探头型号	风速测量范围	声温测量范围
TR-61A	0～30m/s	-10～40℃
TR-61B	0～60m/s	-10～40℃
TR-61C	0～30m/s	-10～40℃
TR-62AX	0～30m/s	-10～40℃
TR-90AH	0～20m/s	-10～40℃
TR-90T	0～40m/s	-10～40℃
TR-92T	0～40m/s	-10～40℃

其中TR-61A为三维超声波风速温度一体化探头，采用非正交声学路径结构，无转动机械部件，可同步测量三维风速风向以及声温，采样速率20次/秒，适合湍流观测、风洞试验、建筑环境气象监测。

核心技术规格

项目	参数
测量方式	时分发送/接收切换式超声波脉冲方式
计算方法	超声波传播时间倒数差计算法
测量项目	三维风速分量（X/Y/Z）、水平风速、风向、垂直分量风速、声温
测量重复	20次/秒
数字输出	RS-232C
模拟输出	分量风速、声温、变动温度：0～±1V/F.S；风速/风向：0～1V/F.S
LCD显示	240×128点阵，带背光
电源	AC100～240V±10%，50/60Hz
运算要素	3秒平均值运算、仰角运算、任意平均值等
输出设定	数字输出项目及间隔可设定，模拟输出6CH→8CH可扩展
雷灾保护	增强型雷灾保护功能，减少连接电缆侵入浪涌电压导致的故障

参数来源：

半导体与洁净室应用

半导体FAB中的三维气流监测需求

半导体集成电路制造对生产环境的洁净度要求极为苛刻，晶圆上的微小颗粒污染就足以导致器件失效。半导体洁净室的洁净度保障依赖于单向流（层流）气流设计：经高效过滤器（HEPA/ULPA）净化的超洁净空气从顶部均匀向下吹送，以0.3~0.5m/s的均匀速度流过工作区域，将工艺过程中产生的微粒快速带走。然而，洁净室内设备布局复杂，设备发热、排风管道、人员走动等因素都会产生局部涡流和气流死角，导致颗粒在某些区域滞留，直接影响良率。

三维超声波风速计可同时测量水平风速、风向和垂直分量风速，能够量化分析气流的三维走向、风速梯度和局部乱流，是洁净室气流均匀性验证和气流死角检测的关键工具。

DA-700在半导体洁净室中的适用性

三维测量，全面评估气流状态。 DA-700可同时输出X/Y/Z三轴风速分量、水平风速、风向和垂直分量风速，能够完整还原洁净室内的三维风场分布，精准定位涡流区域和气流死角，为洁净室气流优化提供量化数据。

无机械可动部件，零颗粒产生。 DA-700利用超声波传播时间差计算风速，无运动部件，维护免保养，不会像传统机械风杯或叶轮式风速计那样因轴承磨损产生颗粒污染，是半导体FAB洁净室长期在线监测的理想选择。

可测0m/s起始微风，适合层流验证。传统机械风速仪存在启动风速门槛，无法捕捉0.3~0.5m/s范围内的微弱层流气流。DA-700可精准捕捉0m/s起始的极微弱微风，满足半导体洁净室层流状态验证和FFU（Filter Fan Units）气流控制的需求。

高采样率，捕捉瞬态气流变化。 DA-700测量重复达20次/秒，可捕捉阵风、湍流等瞬态风场变化，满足洁净室气流动态监测需求。

丰富探头可选，适配不同洁净室场景。 DA-700提供7种探头可选，可根据洁净室的具体风速范围选择适合的探头型号。TR-61A探头采用铝合金流线支架结构，对气流扰动小，实测数据更贴近真实流场状态。

典型半导体应用场景：

半导体FAB洁净室三维层流风速在线监测
FFU（Filter Fan Units）出风风速均匀性验证
光刻区、薄膜区等核心工序的气流稳定性及涡流检测
洁净室建造验收及年度再验证
设备排风管道三维风速监测
液晶面板和LED生产线环境控制
医药GMP无菌车间气流均匀性验证

配套主机与选配件

DA-700主机：3D超声波风速温度计信号处理主机，配备LCD显示屏（240×128点阵，带背光），支持数字RS-232C输出和模拟电压输出。

探头（需另配）：TR-61A、TR-61B、TR-61C、TR-62AX、TR-90AH、TR-90T、TR-92T共7种型号可选。

显示设定软件：标配，支持实时监测、列表显示、图表显示，具备数据存储功能。

雷电保护器：可选配，增强连接电缆的浪涌电压防护能力。

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