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| 品牌 | SONIC/索尼克 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 半导体 |
日本SONIC索尼克是专业从事超声波测量设备研发制造的企业,旗下超声波风速仪广泛应用于气象防灾、风电、隧道通风、半导体洁净车间、流体科研等场景。SA-11/SA-21系列是SONIC旗下的二维超声波风向风速计,采用超声波时差法实现风速风向的精准测量,无机械可动部件,从微风到强风均能实现高响应、高线性度的测量。
SONIC索尼克二维超声波风速计 SA-11系列SONIC索尼克二维超声波风速计 SA-11系列
SA-11/SA-21系列采用时分发送/接收切换式超声波脉冲方式,计算方法为超声波传播时间倒数差演算法。设备配有多组超声波探头,分时交替发射和接收超声波脉冲,通过时间倒数差算法直接解算风速分量,再经矢量合成得出实时风速和0~360°风向。
该算法的核心优势在于自动抵消温度漂移干扰。SONIC采用的倒数差算法在运算中直接抵消声速的温度变化影响,基础测量无需额外温度补偿即可实现低温漂高精度测量。
SA-11/SA-21系列共8个标准型号,分为SA-11(强风规格)和SA-21(标准规格)两大子系列。
| 型号 | 所属系列 | 核心特点 |
|---|---|---|
| SA-11 | SA-11(强风规格) | 标准型,测量范围0~90m/s,可取得90m/s气象仪器检定 |
| SA-11H | SA-11(强风规格) | 内置加热器,适用于降雪/寒冷地区,可大幅减少因下雪造成的读数缺失 |
| SA-11C | SA-11(强风规格) | 配备高性能防鸟装置 |
| SA-11HC | SA-11(强风规格) | 内置加热器 + 高性能防鸟装置 |
| SA-11R | SA-11(强风规格) | 倒置安装型,适用于特殊安装角度需求 |
| SA-11RH | SA-11(强风规格) | 倒置安装 + 内置加热器 |
| SA-21 | SA-21(标准规格) | 标准型,测量范围0~75m/s,低功耗(数字输出时约0.8W),标配2通道模拟输出 |
| SA-21R | SA-21(标准规格) | 倒置安装型 |
SA-11系列(6个型号)为强风规格,风速测量上限达90m/s。SA-21系列(2个型号)为标准规格,风速测量上限为75m/s,数字输出时功耗约0.8W,标配2通道模拟输出(0-20mA或4-20mA)。两个系列均没有SA-21加热器规格,寒冷地区建议使用SA-11H或SA-11RH。
| 项目 | SA-11 | SA-21 |
|---|---|---|
| 测量范围(风速) | 0~90m/s | 0~75m/s |
| 测量范围(风向) | 0~360° | 0~360° |
| 风速精度 | ±0.2m/s 或 ±3%RD | ±0.3m/s 或 ±5%RD |
| 风向精度 | ±3° | ±3°(风速3~60m/s范围内) |
| 输出分辨率 | 风速0.01m/s / 风向0.1° | 风速0.01m/s / 风向0.1° |
| 输出信号 | RS-422 | RS-422 / 模拟0-20mA或4-20mA(2ch) |
| 电源 | DC 9~36V | DC 9~36V |
| 功耗 | 约6W | 约0.8W(数字输出时) |
| 气象仪器检定 | 90m/s可取得 | 70m/s可取得 |
工作环境温度范围为-40~+60℃,本体尺寸187.5mm×126mm,安装于立柱顶端。
半导体集成电路制造对生产环境的洁净度要求极为苛刻,晶圆上的微小颗粒污染就足以导致器件失效。半导体洁净室的洁净度保障依赖于单向流(层流)气流设计:经高效过滤器(HEPA/ULPA,过滤效率>99.9995%)净化的超洁净空气从顶部均匀向下吹送,以0.3~0.5m/s的均匀速度流过工作区域,将工艺过程中产生的微粒快速带走。气流的均匀性和稳定性是维持洁净室等级的关键:局部风速过低导致颗粒沉降积累,风速过高则可能引起气流紊乱,反而带起地面颗粒。
依据ISO 14644-1洁净室国际标准,洁净室竣工验收时需按规定点位密度(每36m²至少一个测试点)进行全室风速均匀性扫描,确保高效过滤器各点风速均匀性(标准偏差/平均风速<20%),风速均值满足设计要求(通常0.3~0.5m/s)。在光刻、薄膜等核心工序中,微小的涡流都可能导致晶圆缺陷,验收和运维时的风量风速检测精度要求高。
无机械可动部件,零颗粒产生。 超声波风速计利用超声波传播时间差计算风速,无运动部件,维护免保养,不会像传统机械风杯或叶轮式风速计那样因轴承磨损产生颗粒污染,是半导体FAB洁净室长期在线监测的理想选择。
可测0m/s起始微风,适合层流验证。 传统机械风速仪存在启动风速门槛,无法捕捉0.3~0.5m/s范围内的微弱层流气流。超声波测量方式可精准捕捉0m/s起始的极微弱微风。满足半导体洁净室层流状态验证和FFU(Filter Fan Units)气流控制的需求。
实时数据接入FAB监控系统。 SA-11/SA-21系列提供RS-422数字输出和模拟输出(SA-21标配),可直接接入FAB的厂务监控系统(FMCS),实现洁净室气流状态的实时数据采集与异常预警。
适用场景:
半导体FAB洁净室层流风速在线监测
FFU(Filter Fan Units)出风风速均匀性验证
光刻区、薄膜区等核心工序的气流稳定性监测
洁净室建造验收及年度再验证
设备排风管道风速监测
风况软件SWT-10为SA系列专用观测软件,支持实时监测、列表显示、图表显示及风玫瑰图显示,具备数据存储和打印功能。
电源信号转换器可选配SA-PJBA(室内型)、SA-PJBA(H)(室内带加热器电源)、SAT-PJBA(室外型)等,将风速计输出信号转换为电流/电压信号或RS-232C输出。
安装附件包括SA-FLG-A(立柱顶端安装法兰)和SA-KNG-A(U型螺栓式安装件),均适配50A立柱。
| 领域 | 具体场景 |
|---|---|
| 半导体制造 | FAB洁净室层流风速监测、FFU气流控制、光刻/薄膜工序气流稳定性验证 |
| 气象防灾 | 自动气象站、低空局地风观测、灾害性强风监测 |
| 交通基建 | 公路隧道通风监测、机场跑道侧风监测、道路气象观测 |
| 科研工业 | 风洞实验、大气扩散观测、洁净室层流检测 |
| 新能源 | 风电场风资源评估、风力发电机组控制 |
| 建筑安全 | 高层建筑风荷载监测、桥梁风观测 |
SA系列超声波风速计已被日本气象厅AMeDAS、新东名高速公路、环境省大气污染物广域监视系统等采用,同时也广泛应用于半导体行业、金属加工行业、物流港口业、大学高校研究所等领域。
| 需求场景 | 推荐型号 |
|---|---|
| 半导体FAB洁净室在线监测 | SA-21(低功耗,模拟输出) |
| 标准气象观测 | SA-11 |
| 降雪/寒冷地区 | SA-11H |
| 低功耗野外站点 | SA-21 |
| 需模拟量输出 | SA-21(标配模拟输出)或SA-11+SA-PJBA转换器 |
| 倒置安装 | SA-11R / SA-21R |
| 防鸟需求 | SA-11C / SA-11HC |
我司优势代理品牌:坂口电热 SAKAGUCHI、EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克:、SANKO三高、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、UILVAC爱发科、TORAY东丽、EBARA荏原、ANALYZER第一热研、NFK南国工业株式会社、MATSUO松尾、NIKKATO日陶、HEIDON新东科学、JIKCO吉高、0TSUKA大塚电子、ITOH伊藤、日本MTL、THOMAS、kakuhunter写真化学、WATSON沃森、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、ATAGO爱拓、PFERD马圈、TEMITOP乐控TSUBAKI椿本、MIYUKI 美幸辉