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TOFCO东富科FC-CH22带针阀浮子流量计

简要描述:TOFCO东富科FC-CH22带针阀浮子流量计是一款带流量调节针阀的超小型面板嵌入式面积式流量计(浮子流量计),属于“Flow Checker"系列的量产经济型型号,也是FC-C21的升级款。它采用透明亚克力(PMMA)机身,底部集成精密可调针阀,可在现场手动微调流量,无需额外加装调节阀即可完成流量控制与监测,主打PCB、半导体清洗纯水、氮气吹扫等微量流量控流场景,是设备内置集成的理想选择

基础信息

产品型号

FC-CH22-

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-21

浏览次数

55
详细介绍
品牌TOFCO/东富科价格区间面议
产品种类其他介质分类气体
产地类别进口应用领域化工,能源,电子/电池,半导体

品牌背景:
东富科(TOFCO)是日本的精密流量测量设备制造商,其面积式流量计(又称浮子流量计)以高精度、高稳定性和可视化测量著称,广泛应用于半导体、化工、实验室、新能源等领域。

根据东富科“气体用|面积式流量计"分类,该产品线均为锥型玻璃管可视型流量计,设计紧凑、嵌入式,产品线丰富。由于是量产机型,交货期短。以下是该分类下全部16款型号的系统介绍。
TOFCO东富科FC-CH22带针阀浮子流量计TOFCO东富科FC-CH22带针阀浮子流量计

一、产品系列总览

气体用面积式流量计涵盖以下型号:

FM系列(7款): FM-PZ、FM-PX20、FM-PX25、FM-PG、FM-PR、FM-KF、FLS-PZ

FC系列(8款): FC-CX18、FC-C21、FC-CX24、FC-CX26、FC-CX30、FC-S、FC-SX、FC-CH22

DUO系列(1款): DUO-PX

二、FM系列型号详解

FM-PZ

定位: 可安装报警开关的通用型面板式流量计,短纳期、低价格。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.8 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 80℃(FKM填料时Max. 100℃)

  • 使用环境温度:0~50℃(无结露)

  • 本体材质:SUS304不锈钢,配硼硅玻璃锥管

  • 流量范围:0.1~100 NL/min,对应管径DN15~DN50

FM-PZ采用浮子变面积测量原理,直读式刻度显示,可选磁性限位开关与电流变送输出,多用于半导体供气支路、化工气体分配、热处理炉、实验室气体管路的流量观测与控制。

FM-PX20

定位: 超小型面板嵌入式流量计,FM-PX系列最小机身型号,专为设备内部狭小空间开发。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.8 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 80℃(FKM填料时Max. 100℃)

  • 使用环境温度:0~50℃(无结露)

  • 流量范围:10 mL/min ~ 5 L/min

  • 连接口径:Rc1/4

  • 浮子材质:Ti/玻璃/红宝石/SUS304

  • 闭锁装置材质:PTFE/SUS316

FM-PX20为纯机械无源设计,浮子目视直读,支持内置针阀,结构紧凑简洁。

FM-PX25

定位: 面板安装型净化流量计(Purge Meter),定位高于FM-PX20,专为微小流量的精密监测与控制设计。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.(可支持±2% F.S.高精度版本)

  • 使用最高压力:0.8 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 80℃

  • 连接口径:Rc1/4

  • 体积介于FM-PX20与FM-PZ25之间

FM-PX25支持更宽的流量范围,可加装报警开关。

FM-PG

定位: 吹扫(Purging)用流量计,结构简单、耐久性优异,保养方便。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.5 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 80℃(FKM填料时Max. 100℃)

  • 使用环境温度:0~60℃

  • 典型规格:PG25,Max. 30 NL/min

  • 材质:BSBM(电镀)、PTFE/SUS316

FM-PR

定位: 中~大流量面板安装型流量计,可安装流量控制阀及报警开关。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.8 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 100℃

  • 规格:FM-PR40/50/60/80,数字越大流量、口径越大

FM-KF

定位: 中~大流量法兰连接型流量计,可根据客户用途定制各种口径、流体、流量。

核心参数:

  • 使用流体温度:Max. 80℃

  • 规格:FM-KF15、FM-KF20等

  • 适用于中~大流量流体系统的面积式流量监测

  • 可适用于各种O型圈密封材料

FLS-PZ

定位: 数显浮子式流量计,融合传统浮子流量计的机械可靠性与现代数字显示技术。

核心参数:

  • 通过磁耦合技术将浮子位置转化为电信号

  • 支持4~20mA模拟信号、Modbus-RTU、继电器报警输出

  • 面板嵌入式设计,可选内置针阀

  • 实现流量现场直观读数和远程监控一体化

FLS-PZ适配工控系统,属于流量开关、数显转换器类配套部件。

三、FC系列型号详解

FC-CX18

定位: 超小型清洁亚克力本体流量计,装置组嵌。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.5 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 55℃

FC-C21

定位: 量产型短纳期低价格型号,面板嵌入式安装。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.5 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 55℃

  • 流量范围:0.1~1 L/min

FC-CX24

定位: 亚克力本体量产型流量计,短纳期、低成本。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 采用透明亚克力(PMMA)机身

  • 设计紧凑、简洁、洁净

FC-CX26

定位: 高视认性、维护性优异的量产型号。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.5 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 55℃

FC-CX30

定位: 耐压性能出色的亚克力(PMMA)本体流量计,在FC-CX26基础上进一步提升耐压能力。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 采用PMMA材质

  • 流量范围:0.4~5 L/min、1~10 L/min

  • 高性价比、紧凑设计与高耐压平衡

FC-S

定位: 耐热玻璃直型(Straight)面积式流量计,可根据流体、流量、压力用途定制。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.8 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 100℃(NBR时80℃)

  • 使用环境温度:0~60℃

  • 规格:S26/S42/S65

  • 连接口径:Rc1/4 ~ Rc1

FC-SX

定位: 配备报警开关的直型耐热玻璃管流量计,在FC-S系列基础上标配报警开关,实现流量可视化监测与异常报警一体化。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.7 MPa(G)

  • 材质:SS304 / SS316 / PMMA

  • 流量范围:1~10 NL/min等

FC-CH22

定位: 紧凑型高性价比亚克力本体流量计,Flow Checker系列量产型号,适合安装空间严苛的设备集成。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.5 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 55℃

  • 接液材质:PMMA/SUS

  • 重量:约125g

四、DUO系列型号详解

DUO-PX

定位: 气体/液体两用小型玻璃管浮子面积式流量计,兼具现场可视读数与连续模拟信号远传功能。

核心参数:

  • 流量精度:±5% of F.S.

  • 使用最高压力:0.8 MPa(G)

  • 使用流体温度:Max. 60℃

  • 使用环境温度:0~50℃

  • 输出信号:4-20mA(负载电阻400Ω以下)/ 1-5V / 1-10V

  • 电源:DC12~24V±10%

  • 材质:针阀SUS316,表壳铝合金,前面板PMMA

  • 流量范围(AIR换算1atm/20℃):40~500 NmL/min ~ 2~20 NL/min

  • 连接口径:Rc1/8(规格20)、Rc1/4(规格25)

DUO-PX采用红外IR+光电晶体管阵列读取浮子位置,输出连续模拟信号,在浮子位置可现场目视流量的同时输出连续信号。

五、通用技术规范

以下规范适用于FM-PZ、FM-PX20等主力型号:

项目参数
流量精度±5% of F.S.
使用最高压力0.8 MPa(G)(部分型号0.5 MPa(G))
使用流体温度Max. 80℃ / FKM填料时Max. 100℃
使用环境温度0~50℃(无结露)
簧片开关触点容量DC 0~24V,Max. 0.2A
磁开关电源DC+12~24V,消耗电流≤10mA
磁开关输出开路漏极,耐电压Max. 30V,驱动电流≤100mA

六、选型建议

  1. 介质确认:适用空气、N₂、O₂、CO₂、Ar、C₃H₈等洁净气体,禁含颗粒和油污。

  2. 流量范围:建议按最大流量×1.25选型,常用范围1~100 NL/min。

  3. 口径选择:Rc1/4(≤100 NL/min)、Rc3/8~1/2(>100 NL/min)。

  4. 功能需求:纯机械目视读数选FM-PX20/FM-PG;需报警输出选FM-PZ/FC-SX;需数显和远程监控选FLS-PZ/DUO-PX;需高精度小流量控制选FM-PX25。

我司优势代理品牌:坂口电热 SAKAGUCHI、EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克:、SANKO三高、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、UILVAC爱发科、TORAY东丽、EBARA荏原、ANALYZER第一热研、NFK南国工业株式会社、MATSUO松尾、NIKKATO日陶、HEIDON新东科学、JIKCO吉高、0TSUKA大塚电子、ITOH伊藤、日本MTL、THOMAS、kakuhunter写真化学、WATSON沃森、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、ATAGO爱拓、PFERD马圈、TEMITOP乐控TSUBAKI椿本、MIYUKI 美幸辉

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