简要描述：MKS美国GV50A数字控制质量流量控制器可选配RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET或DeviceNet™ I/O接口。其数字控制电子元件采用最新的MKS控制算法，可在整个控制范围内实现对设定点的快速且可重复的响应。典型响应时间约为600至800毫秒。使用校准气体进行数字校准，可达到设定点精度的1%。

产品概述

MKS G 系列属于经济高效型热式气体质量流量控制器（MFC），具备快速、可重复的流量控制性能，是半导体、光伏、等离子工艺常用的气体流量管控部件。该产品线一共分为5 个子系列，合计 47 款产品；既有弹性密封机型，也有全金属硬密封机型，覆盖从小流量 5sccm 一直到大流量 300slm 宽广量程区间；沿用行业标准 3 英寸安装底座，可直接替换老款 1179A 系列，支持模拟 + 多协议数字通讯，兼顾新项目装机与老设备改造升级。
MKS美国GV50A数字控制质量流量控制器MKS美国GV50A数字控制质量流量控制器

G 系列 5 个子系列明细

1. GE50A｜弹性体密封式 5‑50000 sccm（25 种产品）橡胶密封圈密封，通用基础主力型号；适配氮气、氩气、氦气、氧气、氢气等惰性与弱反应工艺气体；性价比高，应用范围广。

2. GM50A / GM51A｜金属密封式 5‑50000 sccm（17 种产品）全金属硬密封结构，无橡胶件；低泄漏，耐卤素类腐蚀性特种气体，适合高纯、高洁净真空半导体工艺工况。

3. GV50A｜弹性体密封式 5‑50000 sccm，带截止阀（1 件产品）在原有 MFC 阀体基础上额外集成一路独立截止阀；可增加一道气路切断点位，实现双重关断，对气路安全切断有额外要求的工位选用。

4. GM100A｜金属密封式 50‑100 slm（1 件产品）大流量金属密封机型；针对大流量腐蚀性工艺气体；适合需要高流量同时兼顾耐蚀低漏率的工艺。

5. GE250A/GE300A｜弹性体密封式 100‑300 slm（3 款产品）超大流量弹性密封版本；用于大流量惰性、弱腐蚀气体通路。

产品共同核心特点

1. 数字化控制，多气体多量程内置存储内置多组气体标定参数，支持机内切换气体与量程，无需返厂重新标定；流量响应速度快，典型稳定时间 500‑750ms，工艺重复性好。

2. 丰富通讯兼容能力模拟信号：0‑5VDC、4‑20mA；数字通讯：RS485、Profibus、DeviceNet、Profinet、EtherCAT；EtherCAT 版本支持双网口串联；设备自带 LED 状态指示灯，可本地完成调零作业，适配市面上绝大多数 PLC 控制系统。

3. 标准化安装底座统一 3 英寸安装基准尺寸，可直接替换原有老款 1179A；管路接头可选 4‑VCR、4‑VCO、卡套；金属密封机型可适配 C‑W 法兰，满足高纯气路装配。

4. 统一精度性能指标

20‑100% 满量程：精度为设定值的 ±1%2‑20% 满量程：精度为满量程的 ±0.2%重复精度：±0.3% 读数；分辨率 0.1% FS最大入口压力：150 psig；试验耐压：1000 psig接液材质全部采用 316L 不锈钢；工作环境温度 10‑50℃

选型对比简表

表格

                        适用行业场景

光伏扩散、PECVD 镀膜设备；半导体工艺辅助气路；等离子清洗、气相沉积设备；实验室 CVD 气相工艺；旧机台原有 MFC 替换改造项目。