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| 品牌 | REGAL JOINT/RGL JOINT | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 其他 | 介质分类 | 液体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,半导体,机械设备 |
Multiflow® MFR 系列是半导体 / 高纯药液专用卡门涡街流量计，无活动部件、无 O 型圈结构，接液材质采用New‑PFA 氟树脂，低金属析出、无微粒污染，专为超纯水、高纯化学药液设计，集成流量 + 温度双参数测量，自带一体式数显屏幕，是精密制程的流量监测仪表。
定位区分：KSL‑LS 为冷却水通用涡街款；MFR 是高纯药液专用防腐款。
流体流过扰流球体产生卡门涡街，压电元件捕捉涡流信号，内置单片机运算计算流量；搭载内置温度传感器自动做温度补偿，消除液体温度变化带来的测量误差，同时输出瞬时流量与流体温度数值株式会社リ...。
无机械可动部件、O‑ring‑less（无密封圈）结构，无磨损、无微粒脱落，适配高纯流体
接液全 New‑PFA 材质，耐酸碱腐蚀，兼容约 80 种工业化学药液，金属离子溶出极低，半导体 / 光伏制程优选
流量 + 温度一体化监测，内置温度补偿功能，提升宽温工况测量稳定性
紧凑型一体数显，机身自带 LCD 显示屏，现场直接读取瞬时流量与温度
多类型工控信号输出：4‑20mA / 0‑10V 模拟量、脉冲输出、双点 NPN 开路报警（流量、温度超限告警）
高重复性：±0.5% FS，测量稳定性优异
管路对接采用插管式 PFA 接头，适配高纯软管，拆装便捷
表格
| 产品型号 | 流量测量范围 |
|---|---|
| MFR‑301 | 0.3～2.5 L/min |
| MFR‑302 | 0.4～4.0 L/min |
| MFR‑303 | 2～20 L/min |
| MFR‑304 | 5～50 L/min |
| MFR‑305 | 10～100 L/min |
流量精度：MFR‑301~304 ±2% FS（25℃）；MFR‑305 ±3% FS
重复性：±0.5% FS
测温范围：0～90℃；温度精度 ±2℃
使用流体：超纯水、纯水、各类低粘度酸碱化学药液（约 80 种药液兼容）
流体温度：0～90℃（介质不可结冰）
供电电压：DC24V
信号输出：4‑20mA / DC0‑10V、脉冲输出、2 路 NPN 集电极开路报警
接液材质：New‑PFA（无密封圈设计）
连接方式：PFA 插管式接头（3/8"～1" 规格）
最高使用压力：1.0 MPa
FS 系列｜叶轮式：PPS 材质，冷却水通用款，性价比高，带叶轮易损件
KSL‑LS 系列｜卡门涡街（通用水冷）：PPS+SUS304 接液，纯水 / 冷却水，普通工业冷却监控
MFR Multiflow®｜卡门涡街（高纯防腐）：全 PFA 无密封圈，半导体、光伏药液、超纯水专用型号
半导体清洗设备、光伏湿法制程、液晶面板制造、高纯化学品供给管路、实验室精密药液输送、电子行业超纯水循环监测
日本RGL半导体 / 高纯药液专用流量计日本RGL半导体 / 高纯药液专用流量计
湿法工艺中的化学品流量控制
纯水供应管线的流量监测
清洗装置的循环流量控制
温度控制系统的冷却水管理
化学溶液循环管
酸碱化学溶液的流速监测
化学品供应单元
冷水机组和冷却水循环设备
工业清洗设备
温度控制设备
| 模型 | MFR-301 | MFR-302 | MFR-303 | MFR-304 | MFR-305 | ||
| 流速范围 | 0.3–2.5 升/分钟 | 0.4–4.0 升/分钟 | 2.0–16 升/分钟 | 5.0–50 升/分钟 | 10–100 升/分钟 | ||
| 待测量液体 | 水、纯净水、化学溶液 | ||||||
| 准确性 | ±2%FS (25℃) | ±3%FS (25℃) | |||||
| 可重复性 | ±0.5%FS | ||||||
| 流体温度 | 0-90°C（无冰点或沸点） | ||||||
| 温度精度 | ±2℃ ±0.15×ΔT℃ (ΔT：环境温度 - 流体温度) | ||||||
| 保证温度精度 | 流体温度：15-60℃ | ||||||
| 最大工作压力 | 1 MPa (G) @ 25℃ | 0.75 MPa (G) @ 25℃ | 0.65 MPa (G) @ 25℃ | ||||
| 允许的环境温度， 允许的环境湿度 | 0 至 50°C（无结冰） 95% 相对湿度或更低（无冷凝） | ||||||
| 储存温度 | -10 至 70°C（无冰冻） | ||||||
| 防护结构 | IP65 等级（防水防尘） | ||||||
| 接触液体的部件材料 | 新PFA | ||||||
| 信号输出 | 流量输出 | 无显示 | |||||
| 已显示 | 电流 4-20mA，24VDC 输入时允许负载电阻为 250-500Ω，12VDC 输入时允许负载电阻为 250Ω 或更低，或 脉冲输出（1kHz@FSDuty 50% NPN 开集电极输出，最大 DC30V/80mA）。 集成电源：脉冲输出。 | ||||||
| 温度输出 （仅在水流时） | 无显示 | 1-5VDC（0-100°C），外部负载电阻250kΩ或更高。 | |||||
| 已显示 | 电流：4-20mA（0-100℃） 允许负载电阻：24VDC 输入时为 250-500Ω，12VDC 输入时为 250Ω 或更低 | ||||||
| 报警信号 | 报警触点：2 点，NPN 型开路集电极输出，最大直流 30V/80mA（仅带指示灯） | ||||||
| 数字通信 | RS485（MODBUS 协议，RTU 模式）（仅限带显示屏的型号） | ||||||
| 电源电压 | 12-24VDC ±10% 电流消耗（无指示灯：≤80mA；有指示灯：≤140mA） | ||||||
| 电缆长度 | 3米电缆，两端已预接，并附赠备用焊锡。 | ||||||
| 大量的 | 无显示 | 160克或以下 | 175克或以下 | 200克或以下 | |||
| 已显示 | 160克或以下 | 180克或以下 | 205克或以下 | ||||
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