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日本RGL液体专用流量计 半导体制造设备

简要描述:日本RGL液体专用流量计 半导体制造设备KSL‑LS 系列 = 液体用卡门涡街流量计(带数显一体型),日本原装 RGL 高阶水冷流量温度一体式传感器,**无叶轮、无机械转动部件**,面向半导体、机床冷却水路做长期稳定监测。

基础信息

产品型号

KSL-5LS

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-07

浏览次数

55
详细介绍
品牌REGAL JOINT/RGL JOINT价格区间面议
产品种类其他介质分类液体
产地类别进口应用领域电子/电池,半导体,机械设备

一、产品概述

KSL‑LS 为卡门涡街式液体专用流量计(LCD 数显一体型),无机械转动叶轮,依靠卡门涡流原理,同时测量瞬时流量、累积流量、流体温度;自带本地数字显示屏,兼具多类型信号输出与超限报警功能,专为冷却水、纯水、低粘度洁净液体的工业水路监控开发,广泛用于机床、激光设备、半导体水冷系统。

后缀释义:

  • L:基础流量传感器本体

  • LN:紧凑型无显示款

  • LS:带数显屏幕一体式(本次介绍系列)

二、工作原理

流体流过扰流球体产生稳定的卡门涡街,压电元件捕捉涡流信号,内置单片机运算换算出流量数值;集成测温元件同步采集液体温度,最终在显示屏输出数据,同时对外输出工控信号(模拟量 / 脉冲 / 报警)。

三、核心特点

  1. 无磨损结构:无叶轮等活动零件,长期不间断运行,免维护、寿命优于 FS 叶轮系列

  2. 三参数监测:瞬时流量 + 累积流量 + 液体温度一体测量

  3. 多路电气输出:0~10V / 4‑20mA 模拟量、流量脉冲、集电极开路报警

  4. 双报警功能:流量上下限报警、温度超温报警,配套 LED 状态指示灯

  5. 一体化数显:机身自带 LCD 屏幕,现场直接读数,无需额外显示仪表

  6. 紧凑型防水本体,安装便捷,适配工业冷却回路改造配套 PLC 控制系统

四、全系列型号 & 量程对照表(KSL‑LS 带显示屏版本)

表格

完整型号测量流量范围适配螺纹参考
KSL‑5LS0.5~5 L/minRc3/8"
KSL‑10LS1.5~10 L/minRc3/8"
KSL‑30LS5~30 L/minRc1/2"
KSL‑50LS7~50 L/minRc1/2"
KSL‑80LS10~80 L/minRc3/4"
KSL‑160LS20~160 L/minRc1"

五、通用基础规格

  1. 测量精度:流量 ±2.0% FS;温度 ±1℃

  2. 介质温度:0~90℃;测温显示区间:0~99℃

  3. 最高耐压:1.0 MPa

  4. 供电电压:DC12V / DC24V

  5. 输出信号

    • 模拟输出:流量 / 温度独立输出(0‑10V 电压 或 4‑20mA 电流)

    • 脉冲输出:流量脉冲信号

    • 报警输出:MOS‑FET 开路输出(流量告警、温度告警)

  6. 本体材质:PPS 工程塑料;接液检测件:SUS304 不锈钢;密封件 EPDM

  7. 使用环境温度:0~40℃(介质不可结冰)

  8. 适用流体:纯水、工业冷却水、低粘度化学洁净药液

六、同家族版本区分

  1. KSL‑XXLS:带 LCD 数显一体款(主推型号)

  2. KSL‑XXL:基础传感器,不带显示屏,外接显示单元

  3. KSL‑XXLN:迷你紧凑型,无屏幕,狭小管路安装

七、典型应用场景

数控机床冷却系统、激光水冷机组、半导体设备循环水路、注塑机冷却回路、精密仪器水循环流量温度监控、断流保护报警
日本RGL液体专用流量计 半导体制造设备日本RGL液体专用流量计 半导体制造设备

应用和实施示例

半导体制造设备

  • 蚀刻

  • 设备清洁装置

  • 冷却器

FPD制造设备

  • 洗涤装置

  • 冷却管

洗涤装置

水处理设施

各种冷却设备

机床

日本RGL液体专用流量计 半导体制造设备

规格


模型KSL-LS
流速10.0–80.0 升/分钟
温度测量范围0-99℃
模拟输出流速0-10V,4-20mA/脉冲
温度0-10V,4-20mA
报警输出光电MOS继电器
最大工作压力1.0兆帕
流体温度0 至 90°C(无结冰或冷凝)
湿度温度0 至 40°C(无结冰或冷凝)
流向指定方向
电源电压DC12V±5%,DC24V±10%(出厂默认设置)
当前消耗最大电流 30mA(但当输出电流为 4-20mA 时,最大电流为 70mA)
准确性±2.0% FS
身体材料个人电源
探测器材料流路部分/LCP,温度部分/SUS304
适配器材料SUS
所用液体工业用水/水
用于密封的O形圈氟橡胶
管道连接Rc1/2,Rc3/4
电缆AWM20276 / 9芯 / 0.2平方毫米 / 500毫米


电气线路


日本RGL液体专用流量计 半导体制造设备





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