简要描述：LINTEC琳得科可变量程质量流量控制器 这款功能非常全面的质量流量控制器具有可变范围功能，可改变流量范围，标配数字通信（RS-485）和金属密封件。

可变量程功能允许将单个单元配置为多个质量流量控制器，从而减少备件需求并实现在线流量调节。它非常适合需要频繁更改流量范围或气体类型的实验装置。

产品简介

MC‑700 系列为搭载 VR 可变量程功能的热式质量流量控制器，机身配置调节旋钮，单台设备可切换多种气体类型与满量程规格，压电驱动隔膜阀体搭配金金属密封。配置模拟 0‑5V+RS‑485 双通讯，氮气当量量程覆盖 10SCCM‑50SLM，死体积小，流路洁净处理，兼容高纯以及部分腐蚀性工艺气体。适合实验平台、研发样机、多工况切换设备使用，减少备件种类，多用于研发实验室、小批量工艺设备改造。主流型号：MC‑710、MC‑720、MC‑730。

产品特点

1. VR 可变量程功能，机身旋钮可切换气体种类与满量程档位，一台设备适配多种工况，降低备件库存成本。

2. 压电驱动隔膜阀，执行部件与工艺气体隔离，腔体死体积小，气体置换速度快。

3. 金金属密封结构，泄漏率低，适配超净气路，可应对腐蚀性工艺气体。

4. 模拟 0‑5V 搭配 RS‑485 数字通讯，最多可串联 32 台设备组网，适配旧款自动化系统对接。

5. 内置环境温度补偿传感模块，环境温度波动条件下流量输出稳定。

6. 测量性能稳定，精度 ±1.0% FS，重复性≤±0.2% FS，控制区间 2‑100% FS。

7. 内置微处理单元，具备零点校准、累计流量统计功能，方便现场调试维护。

8. 金属壳体搭配滤波结构，抗电磁干扰性能较好。

9. 支持常闭、常开阀体两种形式，可按需选配 RS‑232 通讯规格。

基础性能参数

测量原理：热式传感控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭阀（可定制常开）接液材质：SUS316L、PCTFE、PTFE，Au 金密封件全阶响应：1s工作压差：MC‑710：50‑300kPa；MC‑720：100‑300kPa；MC‑730：150‑300kPa耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec通讯：模拟 0‑5V、RS‑485，可选 RS‑232供电：±15VDC工作环境：5‑50℃，20‑80% RH 无凝露；精度保证区间 15‑35℃

各型号区分

MC‑710：10‑3000SCCM，可变量程 VR 功能MC‑720：~10SLM，可变量程 VR 功能MC‑730：~50SLM，可变量程 VR 功能

应用场景

半导体研发实验设备；新材料镀膜样机；多气体切换实验平台；MEMS 研发；特种气体实验装置；小批量工艺设备气路改造。

LINTEC琳得科可变量程质量流量控制器 LINTEC琳得科可变量程质量流量控制器 

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