简要描述：薄膜沉积LINTEC琳得科高温质量流量控制器可在流量控制最高温度为 120°C、非通电最高温度为 150°C 的环境中使用。

通过将发热的气体接触部分与热敏基板部分分离，可以实现高温下的气体控制。

该模块采用SUS-316L不锈钢，密封材料采用金，使其能够抵抗腐蚀性气体。

产品简介

MC‑3000L‑TC 属于 MC‑3000L 衍生高温专用型号，气路高温腔体与控制电气主体分离式结构，压电隔膜阀体搭配金金属密封。通电工况气路最高 120℃，断电可承受 150℃烘烤，氮气当量量程覆盖 5SCCM‑200SLM。配备模拟 0‑5V+RS‑485 双通讯，死体积小，抑制气体冷凝液化，流路洁净处理，适配高温、液化、升华类工艺气体，多用于半导体 ALD、CVD 前驱体供气，老产线高温气路点位替换。主流型号：MC‑3102L‑TC、MC‑3202L‑TC、MC‑3252L‑TC、MC‑3452L‑TC、MC‑3462L‑TC、MC‑3472L‑TC。

产品特点

1. 分体式高温结构，高温接触气体腔体和电气控制模块相互隔离，保护电路部件，支持高温气体持续通入。

2. 工作气路最高 120℃，断电状态可承受 150℃烘烤，减少前驱体气体冷凝、析出堵塞风险。

3. 压电驱动隔膜阀，死体积小，气路置换速度快。

4. 金金属密封，氦检泄漏率低，适配半导体超净高温气路。

5. 模拟信号搭配 RS‑485 总线，支持多台组网，适配旧款自动化设备系统对接。

6. 内置温度补偿模块，温度波动条件下流量输出保持稳定。

7. 测量性能稳定，中小量程 25‑100% FS 精度 ±1.0% S.P，2‑25% FS 精度 ±0.25% FS；大量程档位 35‑100% FS 精度 ±1.0% S.P，2‑35% FS 精度 ±0.35% FS，重复性≤±0.2‑0.5% FS。

8. 具备零点校准、累计流量统计、斜坡输出功能，方便现场调试维护。

9. 金属壳体带滤波结构，抗电磁干扰。

10. 标准常闭阀，断电切断气路；可额外选配低压差规格、外置加热模块配件。

基础性能参数

型号：MC‑3102L‑TC、MC‑3202L‑TC、MC‑3252L‑TC、MC‑3452L‑TC、MC‑3462L‑TC、MC‑3472L‑TC测量原理：热式传感氮气当量量程：5SCCM‑200SLM控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭阀接液材质：SUS316L、PCTFE、PTFE，Au 金密封件气路工作温度：80‑120℃；断电烘烤最高 150℃全阶响应：1‑2s工作压差：50‑300kPa耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec通讯：模拟 0‑5V、RS‑485供电：±15VDC工作环境：5‑50℃，20‑80% RH 无凝露

各型号区分

MC‑3102L‑TC：5‑5000SCCM，高温规格，RS‑485MC‑3202L‑TC：~20SLM，高温规格，RS‑485MC‑3252L‑TC：~50SLM，高温规格，RS‑485MC‑3452L‑TC：~50SLM，高温规格，RS‑485MC‑3462L‑TC：~150SLM，高温规格，RS‑485MC‑3472L‑TC：~200SLM，高温规格，RS‑485

应用场景

半导体 ALD、CVD 高温前驱体供气；液化、升华类工艺气体控制；第三代半导体；MEMS 器件制造；高温特种气体实验平台；RS‑485 通讯旧产线高温流量点位改造。
 薄膜沉积LINTEC琳得科高温质量流量控制器 薄膜沉积LINTEC琳得科高温质量流量控制器

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