简要描述：原装* LINTEC林泰克 数字质量流量控制器 Lintec独特的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度的流量测量。它最大限度地减少了传感器随时间推移因热引起的性能下降，即使使用臭氧等易分解气体也能控制流量。

这款高性能、数字质量流量控制器提供液化气体、分钟流量 FS、宽范围以及面对面尺寸和配件规格等选项。

产品简介

MC‑3000L 属于老款高性能热式质量流量控制器，配置 RS‑485 数字通讯搭配模拟信号接口，压电驱动隔膜阀体，金金属密封。氮气当量量程覆盖 5SCCM‑400SLM，死体积小，气路置换速度快，流路做洁净处理，支持高纯、腐蚀性以及部分液化工艺气体，多用于存量半导体设备替换改造。主流型号包含 MC‑3102L、MC‑3202L、MC‑3252L、MC‑3452L、MC‑3462L、MC‑3472L、MC‑3582L，带有‑TC 后缀为高温适配版本。

产品特点

1. RS‑485 数字总线搭配模拟 0‑5V 双接口，支持多台设备组网，适配旧款自动化设备系统对接。

2. 压电驱动隔膜阀结构，执行部件与工艺气体相互隔离，腔体死体积小，气体置换效率高。

3. 金金属密封结构，氦检泄漏率低，长期密封性能稳定，适配半导体超净气路工况。

4. 配置环境温度补偿传感模块，环境温度发生波动时，流量输出依旧保持稳定。

5. 测量性能稳定，中小量程 25‑100% FS 精度 ±1.0% S.P，2‑25% FS 精度 ±0.25% FS；大量程档位 35‑100% FS 精度 ±1.0% S.P，2‑35% FS 精度 ±0.35% FS，重复性≤±0.2‑0.5% FS。

6. 内置微处理单元，具备零点校准、累计流量统计、斜坡输出功能，方便现场调试维护。

7. 金属壳体搭配滤波结构，抗电磁干扰能力较好。

8. 标准常闭阀结构，断电自动切断气路，也可选用常开阀体版本。

9. 可选择高温、液化气体规格，适配特殊工艺工况。

基础性能参数

测量原理：热式传感控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭阀（可定制常开）接液材质：SUS316L、PCTFE、PTFE，Au 金密封件全阶响应：1‑2s工作压差：50‑300kPa耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec通讯：模拟 0‑5V、RS‑485供电：±15VDC工作环境：5‑50℃，20‑80% RH 无凝露

各型号区分

MC‑3102L：5‑5000SCCM，RS‑485MC‑3202L：~20SLM，RS‑485MC‑3252L：~50SLM，RS‑485MC‑3452L：~50SLM，RS‑485MC‑3462L：~150SLM，RS‑485MC‑3472L：~200SLM，RS‑485MC‑3582L：~400SLM，RS‑485‑TC 后缀为高温适配版本。

应用场景

半导体 CVD、ALD、干法刻蚀工艺气体控制；第三代半导体；MEMS 器件制造；液化前驱体气体控制；特种气体实验平台；RS‑485 通讯旧产线流量点位替换改造。
原装* LINTEC林泰克 数字质量流量控制器 原装* LINTEC林泰克 数字质量流量控制器 

我司优势代理品牌：坂口电热 SAKAGUCHI、EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克:、SANKO三高、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、UILVAC爱发科、TORAY东丽、EBARA荏原、ANALYZER第一热研、NFK南国工业株式会社、MATSUO松尾、NIKKATO日陶、HEIDON新东科学、JIKCO吉高、0TSUKA大塚电子、ITOH伊藤、日本MTL、THOMAS、kakuhunter写真化学、WATSON沃森、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、ATAGO爱拓、PFERD马圈、TEMITOP乐控TSUBAKI椿本、MIYUKI 美幸辉