MC‑5000 系列为数字型热式质量流量控制器，分为 MC‑5000C（EtherCAT 通讯）与 MC‑5000L（DeviceNet 通讯）两大子系列，采用压电驱动阀体，金属金密封结构，氮气当量量程覆盖 10SCCM‑300SLM。内置温度补偿传感模块，死体积小，流路洁净处理，适配半导体各类工艺气体控制，支持高纯及部分腐蚀性气体，适配新式自动化产线系统对接。主流型号包含 MC‑5100C、MC‑5200C、MC‑5250C、MC‑5450C、MC‑5460C、MC‑5470C、MC‑5580C。

产品特点

数字总线通讯，MC‑5000C 搭载 EtherCAT，MC‑5000L 搭载 DeviceNet，数据传输稳定，便于设备组网集成。
压电式驱动阀体，阀部隔膜和工艺气体隔离设计，腔体死体积小，气体置换速度快。
金属金密封，氦检漏泄漏率低，满足半导体超净气路使用条件。
自带环境温度补偿，环境温度波动时流量输出稳定性好。
测量精度稳定，中小量程 25‑100% FS 精度 ±1.0% S.P，2‑25% FS 精度 ±0.25% FS；大量程档位 2‑35% FS 精度 ±0.35% FS，重复性≤±0.2‑0.5% FS。
内置微处理单元，支持零点校准、累计流量统计、参数存储，方便现场调试维护。
金属壳体搭配滤波处理，抗电磁干扰能力强。
常闭阀主体结构，断电自动切断气路，匹配设备安全逻辑。

基础性能参数

测量原理：热式传感控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭阀接液材质：SUS316L、PCTFE、PTFE；大流量档位搭配特氟龙、Viton；密封件 Au 金密封全阶响应：1s耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec供电：24VDC工作环境：5‑50℃，20‑80% RH 无凝露

各型号区分

MC‑5100C：10‑5000SCCM，EtherCATMC‑5200C：~10SLM，EtherCATMC‑5250C：~50SLM，EtherCATMC‑5450C：~50SLM，EtherCATMC‑5460C：~150SLM，EtherCATMC‑5470C：~200SLM，EtherCATMC‑5580C：~300SLM，EtherCAT

MC‑5xxxL 后缀为同量程 DeviceNet 版本。

应用场景

半导体 CVD、刻蚀工艺气体控制；薄膜沉积；第三代半导体；MEMS 器件制造；特种气体实验平台；自动化数字总线产线改造。
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