简要描述：LINTEC 林泰克质量流量控制器 薄膜沉积响应时间为 200 毫秒的超快速质量流量控制器。

采用热式传感器，可实现100毫秒（典型值）的高速流量控制。Lintec独特的非接触式热式流量传感器和压电控制阀，能够实现腐蚀性气体的超高速流量控制。

流量精度高​​达±1.0% SP，数字通信方式可选择DeviceNet和EtherCAT。

产品简介

MC‑7000 系列为高速型热式质量流量控制器，采用非接触热传感结构，金属密封阀体，可实现 200ms 快速流量调节响应，适配半导体脉冲刻蚀、短周期工艺气体动态控制场景。包含 MC‑7100C、MC‑7200C、MC‑7100D、MC‑7200D 主流型号，氮气当量量程覆盖 10SCCM‑20SLM。支持模拟量、DeviceNet、EtherCAT 数字通讯，流路经过洁净处理，适配高纯及部分腐蚀性工艺气体。

产品特点

1. 高速响应性能，全阶响应时间 200ms，支持脉冲式流量输出，适配高频切换动态工艺，提升设备产能。

2. 非接触式热传感结构，气体不直接接触传感元件，耐受腐蚀性气体，降低介质带来的部件损耗。

3. 金属密封阀体，氦检泄漏率低，适配半导体超净气路工况。

4. 测量精度稳定，25‑100% FS 精度 ±1.0% S.P，2‑25% FS 精度 ±0.25% FS，重复性≤±0.2% FS。

5. 多通讯方式可选，模拟信号、DeviceNet、EtherCAT，兼容老产线改造与全新设备集成。

6. 内置环境温度补偿，环境温度波动时，流量输出保持稳定。

7. 流路洁净处理，管控微粒析出，减少工艺污染风险。

8. 分为常闭、常开阀体版本，可匹配不同设备安全逻辑需求。

9. 自带累计流量统计、零点校准、斜坡输出功能，便于现场调试与状态统计。

基础性能参数

型号：MC‑7100C、MC‑7200C、MC‑7100D、MC‑7200D测量原理：非接触热式传感氮气当量量程：10SCCM‑20SLM控制区间：2‑100% FS阀类型：常闭 / 常开可选接液材质：SUS316L、金密封件全阶响应：200ms精度：±1.0% S.P（25‑100% FS）；±0.25% FS（2‑25% FS）重复性：≤±0.2% FS工作压差：50‑300kPa耐压：1MPa (G)氦检漏：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec通讯：模拟 0‑5V、DeviceNet、EtherCAT供电：24VDC工作环境：5‑50℃，20‑80% RH 无凝露

各型号区分

MC‑7100C：中小量程，常闭阀，模拟 + DeviceNetMC‑7200C：大量程，常闭阀，模拟 + DeviceNetMC‑7100D：中小量程，常闭阀，模拟 + EtherCATMC‑7200D：大量程，常闭阀，模拟 + EtherCAT

应用场景

半导体脉冲干法刻蚀、薄膜沉积；高频切换工艺气路；第三代半导体；MEMS 器件制造；特种气体实验平台；存量产线高速流量点位改造。
LINTEC 林泰克质量流量控制器 薄膜沉积LINTEC 林泰克质量流量控制器 薄膜沉积

特征

• 超高速流量控制 200 毫秒

• 精度±1%SP

• 工作温度 5-50℃

• 金属密封件

• 洁净（保证无颗粒）

• 环境温度补偿传感器

• EtherCAT 通信

• DeviceNet™ 通信

超高速流量控制

使用示例

高速蚀刻工艺

在半导体制造工艺中，对提高产能和小型化的需求日益增长。在用于控制反应气体流量的质量流量控制器中，对更短的流量控制启动时间的需求也日益迫切。超高速质量流量控制器[MC-7000]是一款非接触式热流量传感器，其流量传感器与被测气体之间无需接触，即可实现200毫秒的超快响应速度。由于采用非接触式设计，它能够实现对腐蚀性气体流量的高速流量控制测量。

规格

我司优势代理品牌：坂口电热 SAKAGUCHI、EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克:、SANKO三高、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、UILVAC爱发科、TORAY东丽、EBARA荏原、ANALYZER第一热研、NFK南国工业株式会社、MATSUO松尾、NIKKATO日陶、HEIDON新东科学、JIKCO吉高、0TSUKA大塚电子、ITOH伊藤、日本MTL、THOMAS、kakuhunter写真化学、WATSON沃森、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、ATAGO爱拓、PFERD马圈、TEMITOP乐控TSUBAKI椿本、MIYUKI 美幸辉