简要描述：MIYUKI 美幸辉 SE 系列气动直通式真空阀SE‑N16‑S 属于 SE 系列紧凑型气动直通真空阀，KF16 (NW16) 快拆法兰，内置磁性接近开关，单作用弹簧常闭气缸驱动，通气开启，断气自动关闭防止大气倒灌腔体。直通直线流道，气缸内置无外凸执行机构，整机体积小巧，节省设备内部安装空间，具备阀位信号反馈输出，可向 PLC 反馈阀门全开 / 全闭状态，两位式全开全关，无节流调节功能，适配常压至

MIYUKI 美幸辉 SE 系列气动直通式真空阀产品简介

SE 系列为内置气缸紧凑型气动直通真空阀，直通直线流道，无向外凸出执行机构，整机圆柱一体化，节省设备内部安装空间。单作用弹簧常闭结构，通气开启，断气自动关闭，防止大气倒灌腔体。两位式全开全关，不具备节流调节功能，适配常压至 10⁻⁵Pa 中高真空，多用于真空计支路、分子泵前级、小型腔体旁路通断隔离，适合设备内部管路密集狭小工况。

MIYUKI 美幸辉 SE 系列气动直通式真空阀型号后缀释义

‑N：KF/NW 快拆法兰；口径覆盖：16、25、40、50。

核心参数

• 驱动：单作用气动弹簧常闭；工作气源：0.4‑0.6MPaG

• 压力范围：10⁵Pa～10⁻⁵Pa

• 泄漏率：≤1×10⁻⁸Pa・m³/s

• 阀体材质：A5056 铝合金

• 密封：FKM 氟橡胶 O 型圈，可选其它密封材质

• 动作寿命：100 万次

• 可选配件：磁性接近开关，输出阀位开关信号

• 使用温度：≤150℃；带接近开关时≤60℃

• 导通能力：SE‑N16：4L/s；SE‑N25：12L/s；SE‑N40：45L/s；SE‑N50：84L/s

产品特点

1. 直通流道，流阻小，导通性能优异，区别于角阀 90° 转向结构。

2. 气缸内置，无外凸部件，轴向紧凑，适合狭小设备内部安装。

3. 弹簧常闭，失气自动关闭，保护真空腔体，避免大气倒灌污染样品与真空元器件。

4. 可选配接近开关，反馈阀门开闭状态，对接自动化 PLC 控制系统。

5. 铝合金阀体轻量化，洁净装配，满足半导体、镀膜设备基础真空要求。

应用领域

半导体真空设备、溅射镀膜、等离子清洗设备、科研真空腔体、真空计采样管路、分子泵前级隔离、各类小型真空支路通断控制。

使用注意事项

1. 必须接入 0.4‑0.6MPaG 洁净干燥压缩空气。

2. 安装建议介质从阀瓣下方流入，上方流出，保障密封性能。

3. 定期检查 O 型圈密封件老化情况，维持泄漏指标。

4. 日本原装，标准货期，实际价格以正式询价为准。