简要描述：MIYUKI美幸辉BJ4系列伺服电动真空蝶阀BJ4‑I50 属于 BJ4 系列伺服电动真空蝶阀，ISO50 法兰规格，三菱 J4 伺服电机驱动，集管路切断与开度节流调节一体，阀板 0‑90° 可任意定位。无需分开配置切断阀与节流阀，减少真空管路泄漏点，ISO 标准法兰通用性强，适配常压至高真空工况，多用于中小型真空腔体排气、泄压、压力闭环调控，适配半导体、真空镀膜、等离子设备集成。

MIYUKI美幸辉BJ4系列伺服电动真空蝶阀产品简介

BJ4 系列为日本 MIYUKI 美幸辉伺服电机驱动真空蝶阀，搭载三菱 J4 伺服电机，单台阀门同时实现全关切断 + 任意开度电导调节，无需分开配置切断阀与节流阀，简化真空管路，减少泄漏点，适配常压至高真空环境，用于真空腔体压力、排气速率精密闭环调节。支持多种法兰规格：JIS‑J、KF‑N、ISO‑I、CF‑C 刀口法兰，口径覆盖 25A‑250A，半导体、镀膜自动化真空产线广泛使用。

MIYUKI美幸辉BJ4系列伺服电动真空蝶阀核心参数

• 驱动：三菱 MR‑J4 交流伺服电机 + 高精度齿轮减速机构

• 压力范围：10⁵Pa ~10⁻⁵Pa，覆盖常压‑高真空工况

• 漏气率：≤1×10⁻⁹Pa・m³/s

• 接液材质：SUS304 不锈钢；标准密封 FKM 氟橡胶，可选全氟醚密封件

• 开度：0‑90° 全行程任意定位，外置角度指示器，外部直观查看阀板开度

• 控制信号：支持模拟量、PLC 通讯，开度、启闭速度均可设定调节

• 法兰规格：JIS、KF、ISO‑F、CF 刀口法兰多种接口可选

产品特点

1、一机两用，兼顾全关切断与开度节流调节，精简真空系统管路，降低泄露风险。2、支持压差工况开启，腔体一侧真空、一侧大气压的差压条件下可直接启动阀门，省去压力平衡工序。3、伺服闭环驱动，高精度齿轮箱，位置再现性优秀，微小开度调节稳定，工艺重复性好。4、多种运行模式，开度可调、启闭速度可调，适配不同排气、泄压工艺节拍。5、大流量导通能力，耐久性强，适合连续自动化产线；标配外置角度指示，现场调试巡检便捷。6、电机驱动，无需外接气源，方便设备集成改造。

完整型号

JIS 法兰：BJ4‑J25、BJ4‑J40、BJ4‑J50、BJ4‑J65、BJ4‑J80、BJ4‑J100、BJ4‑J125、BJ4‑J150、BJ4‑J200、BJ4‑J250KF 法兰：BJ4‑N25、BJ4‑N40、BJ4‑N50、BJ4‑N63、BJ4‑N80、BJ4‑N100ISO 法兰：BJ4‑I25、BJ4‑I40、BJ4‑I50、BJ4‑I63、BJ4‑I80、BJ4‑I100、BJ4‑I125、BJ4‑I150、BJ4‑I200、BJ4‑I250CF 刀口法兰：BJ4‑C40、BJ4‑C63、BJ4‑C100、BJ4‑C160、BJ4‑C200

应用领域

半导体设备腔体压力控制、PVD/PECVD 真空镀膜、溅射蒸发设备、等离子清洗机、真空热处理、科研高真空设备，实现腔体稳压、阶梯泄压、排气流量精密调节。

使用注意事项

1、伺服驱动器需单独选配，不属于阀体本体配件。2、根据工艺气体、温度工况更换密封件，腐蚀性工况建议选用全氟醚密封。3、安装时留意阀体流向，定期检查 O 型圈密封损耗，保障真空漏率。4、日本原装，期货供货，实际价格以正式询价为准。