简要描述：IKC 入江工研NCE3152超高真空金属波纹管波纹管本体两端出厂预焊接 CF152 扁平刀口法兰，无需用户现场焊接，直接螺栓装配使用；可选 SUS316L、AM350 同等沉淀硬化合金材质，具备百万次循环疲劳寿命，适配大通径高频往复超高真空设备，用于轴向伸缩补偿、真空动密封、真空泵管路位移补偿场景，K 后缀为加强寿命版本。

IKC 入江工研NCE3152超高真空金属波纹管核心参数

• 连接形式：两端一体化 CF 扁平法兰 (Conflat 法兰)

• 可选材质：SUS316L 不锈钢，AM350 沉淀硬化合金

• 漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 最高烘烤温度：250℃

• 伸缩规格：2D (20mm)、3D (30mm) 等标准行程；K 后缀代表加强型版本

• 主流常用型号：NCE234、NCE234‑K、NCE270、NCE270‑K、NCE2114、NCE2114‑K 等

IKC 入江工研NCE3152超高真空金属波纹管产品特点

1. 波纹管本体与 CF 扁平法兰一体化焊接出厂，无需现场焊接，直接螺栓装配，安装便捷。

2. 全金属焊接结构，无橡胶密封件，放气率低，满足超高真空使用条件。

3. 无摩擦伸缩动作，产尘少，适配半导体洁净腔体工况。

4. 多材质可选：SUS316L 侧重耐腐蚀；AM350 合金版本循环寿命更高，适合高频往复动作。

5. 标准 CF 法兰尺寸，通用性强，可直接匹配市面主流真空腔体、管路、真空阀门接口。

6. 支持高温烘烤除气，适配真空设备烘烤工艺。

应用领域

半导体真空设备、真空阀门外置动密封、离子泵、检漏设备、镀膜设备、科研超高真空腔体、真空管路热胀冷缩位移补偿、各类高频往复真空机构配套。

使用注意

1. 仅允许轴向伸缩使用，严禁侧向受力、偏心安装、扭转工况，否则易造成波纹管疲劳开裂。

2. 使用时不可超过单模块最大允许轴向位移。

3. 安装时法兰密封面做好防护，避免磕碰损伤密封刃口。

4. 强腐蚀卤素工艺工况，优先选用耐腐蚀材质版本。

压力条件	（内部）真空 （外部）大气压力
温度条件	室温（烘焙过程中最高温度250°C）
泄漏	1× 10⁻⁹ Pa  ·m³ / s 或更低
波纹管材料	SUS316L
法兰材料	SUS304L
法兰形状	Conflat 法兰两端固定或固定旋转
重复人生	10,000次