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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 公称通径 | 80-400mm | 压力环境 | 其他 |
| 工作温度 | 常温 | 流动方向 | 单向 |
| 零部件及配件 | 阀体 | 类型(通道位置) | 直动式 |
| 3C阀门类别 | 工业 | 应用领域 | 化工,电子/电池,半导体,机械设备 |
GAR‑【法兰代号】【口径】BGAR:闸板式伺服真空调压控制闸阀N:KF 快拆法兰;J:JIS 日标法兰;I:ISO‑F 欧标法兰;C:CF 刀口法兰数字:公称通径B:标配电磁制动刹车,断电锁止阀位‑K:Kalrez 全氟醚密封选项,无后缀为标准 FKM 氟橡胶密封
产品系列:GAR 系列伺服控制闸阀公称口径:80A‑400A工作压力范围:10⁵Pa~10⁻⁶Pa内部密封泄漏量:≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s轴封外部泄漏量:≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s接气材质:SUS304 不锈钢标准密封:FKM 氟橡胶 O 型圈,可选 Kalrez 全氟醚密封阀体耐热:150℃电机使用温度:≤40℃驱动:伺服电机直驱,无齿隙,带电磁抱闸刹车阀位反馈:自带阀位信号输出通讯:RS232、RS485配套控制器:MGCS‑11、MG‑mini485、MS‑VP安装姿态:任意方向可安装
1. 闸板升降式结构,全开闸板退出流道,排气通流能力强,缩短腔体抽气时间,适合主排气管路安装。2. 伺服直驱无齿轮结构,低粉尘析出、低放气,满足半导体洁净工艺要求。3. 全行程 0‑100% 开度连续可调,从微量开度调压到关闭隔离,流量压力控制精度高。4. 内置电磁制动刹车,断电锁止阀位,可实现断电全闭密封,防止大气倒灌,保护腔体与工件。5. 运行噪音低,启闭平缓无冲击,工作稳定性高。6. 法兰可选 CF、JIS、ISO‑F、KF 多种规格,适配不同真空设备腔体。7. 可搭配控制器组成闭环真空压力控制系统,自动调节流导稳定腔体内压力。
1. 电机部位不可超过 40℃,烘烤只针对阀体部分,避开电机组件。2. 腐蚀性等离子工况,选用‑K Kalrez 密封版本。3. 管路避免异物杂质进入阀体内部,防止划伤密封面。4. 必须匹配对应配套控制器,实现开度控制与闭环稳压。5. 定期检查 O 型圈密封件,高温、腐蚀工况缩短维护周期。
1. 半导体设备:刻蚀、PVD、CVD,真空腔体压力闭环控制、主排气节流调节。2. 真空镀膜:光学镀膜、光伏镀膜设备大口径排气调压。3. 科研高真空系统、电子束设备、离子注入设备。4. 各类大型工业真空设备,需要大流量排气同时精密压力控制的工况。