简要描述：KOFLOC 科赋乐EX‑550‑F1质量流量计型号：EX‑550‑F1
额定量程：10SCCM（氮气基准）
产品系列：EX‑550 系列全金属密封数字热式质量流量设备
测量原理：热绕组式质量流量传感
测量精度：±1.0% F.S
重复性：±0.2% F.S
响应时间：≤1s
测量控制范围：2‑100% FS
适用介质：氮气、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等工艺气体，支持气体转换系数切换

一、全系列标准型号（氮气基准满量程）

EX‑550‑F1：10SCCMEX‑550‑F2：50SCCMEX‑550‑F3：100SCCMEX‑550‑F4：500SCCMEX‑550‑F5：1SLMEX‑550‑F6：5SLMEX‑550‑F7：10SLMEX‑550‑F8：20SLMEX‑550‑F9：50SLM

EX‑550C：带控制阀质量流量控制器；EX‑550M：无阀质量流量计，金属密封结构，适配半导体高纯工艺场景。

二、基础核心参数
KOFLOC 科赋乐EX‑550‑F1质量流量计

产品系列：EX‑550 系列全金属密封数字热式质量流量设备测量原理：热绕组式质量流量传感测量精度：±1.0% F.S重复性：±0.2% F.S响应时间：≤1s测量控制范围：2‑100% FS适用介质：氮气、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等工艺气体，支持气体转换系数切换接气部件材质：SUS316L，金属密封，可选 FFKM 密封，无橡胶泄露风险供电：DC24V±10V通讯输出：RS485 Modbus‑RTU，0‑5V /4‑20mA 模拟输入输出，旋转拨码设置设备地址最大入口压力：300kPa (G)，耐压 1MPa (G)氦漏率：≤1×10‑11Pa・m³/sec，超高气密性工作环境温度：5‑50℃，精度保证温度 15‑35℃存储温度：‑10‑60℃，湿度 10‑90% RH 无结露电气接口：D‑SUB9 针，兼容 SEMI 半导体标准接口

三、产品核心优势
KOFLOC 科赋乐EX‑550‑F1质量流量计

1. 全金属密封结构，极低漏率，适配半导体高纯气体工艺，杜绝橡胶密封析出污染气体。

2. 高速 PID 闭环控制，流量响应迅速，零点漂移小，高低流量区间控制精度稳定。

3. 机身拨码开关直接设置 RS485 设备地址，支持多台设备总线组网，调试便捷。

4. 模拟量 + RS485 数字双通讯，兼容 PLC、各类工控系统，适配自动化产线集成。

5. EX‑550C 内置常闭电磁阀，断电自动关断气路，保障半导体工艺安全。

6. 耐受洁净、高纯工艺环境，可长时间不间断工业连续运行，符合半导体行业使用标准。

7. 量程覆盖 10SCCM‑50SLM，微小流量至中大流量均可覆盖，替换兼容性强。

四、适用应用场景

1. 半导体行业：PVD、CVD、等离子刻蚀、晶圆处理，高纯工艺气体配比控制。

2. 光学镀膜：真空镀膜设备，各类工艺气体精准流量管控。

3. 电子电池：燃料电池测试、锂电研发实验，高纯供气流量控制。

4. 精细化工：催化实验、特种气体配比、实验室配气系统。

5. 分析仪器：质谱设备、精密气体标定装置，高精度载气控制。