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| 品牌 | KOFLOC/科赋乐 | 价格区间 | 1万-3万 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,半导体,机械设备 |
EX‑700R‑F1:10SCCMEX‑700R‑F2:50SCCMEX‑700R‑F3:100SCCMEX‑700R‑F4:500SCCMEX‑700R‑F5:1SLMEX‑700R‑F6:5SLMEX‑700R‑F7:10SLMEX‑700R‑F8:20SLMEX‑700R‑F9:50SLMEX‑700R‑F10:100SLMEX‑700R‑F11:200SLM
产品系列:EXE‑FLOW™ EX‑700R 数字式热式质量流量控制器测量原理:热绕组式质量流量传感测量精度:≤20SLM 量程 ±1.0% F.S;50‑200SLM 量程 ±1.5% F.S重复性:±0.2% F.S响应时间:≤2s工作介质:N₂、空气、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等工艺气体,支持气体转换系数切换接触气体材质:SUS316L、PTFE、FKM供电:24VDC±10%通讯接口:RS485 Modbus‑RTU,模拟信号 0‑5V /4‑20mA 输出,具备瞬时流量、累积流量脉冲输出工作环境温度:5‑50℃,耐压 980kPa (G)
自带本地数显屏幕,可直接读取瞬时流量、累积流量,支持气体类型切换、流量上下限报警设置,现场调试便捷。
热式质量检测,直接读取质量流量,无需温压补偿计算,测量稳定可靠。
体积小巧轻量化,支持模拟量 + 数字 Modbus 双通讯,可接入工控系统,适配自动化产线集成。
支持两点流量报警输出,可自定义流量阈值,异常工况信号反馈,便于设备联锁保护。
可选集成精密针阀版本,实现流量监测与手动微调一体化;全金属气路,满足高纯气体工况,符合 CE、RoHS 标准。
温漂抑制性能优异,适应工业环境温度波动,支持长时间不间断连续运行。
半导体行业:工艺气体配比、晶圆吹扫、镀膜设备供气控制
实验室仪器:气相色谱、气体标定装置、各类分析仪器精密气路控制
电子电池:锂电研发、面板制程小流量工艺气体供给
精细化工:小试实验、特种气体微量调配
环保检测:环境监测设备标准配气装置