简要描述：KOFLOC 科赋乐ST‑500‑01SL系列质量流量计1. 型号：ST-500-01SL
2. 额定量程：1SCCM（标准立方厘米每分钟）
3. 产品系列：KOFLOC ST-500 系列 PI 闭环控制型 MFC
4. 检测原理：热式质量流量检测，平台归类为质量式流量仪表
5. 适配介质：氮气、氩气、氧气、特种工艺高纯气体

KOFLOC 科赋乐ST‑500‑01SL系列质量流量计KOFLOC 科赋乐ST‑500‑01SL系列质量流量计
一、产品简介

ST‑500 系列 PI 质量流量控制器，搭载 PI 压力不敏感功能（Pressure Insensitive），在流量传感器前端集成压力传感器，当供气压力快速波动时，实时修正阀门开度，抑制压力扰动带来的瞬时流量跳变科赋乐精密...。采用隔膜式全金属密封结构，阀体 SUS316L 电解抛光处理，兼容高纯、腐蚀性工艺气体；自带本地数字显示屏，支持多种工业数字通讯，量程覆盖 10SCCM‑30SLM（氮气换算），全流量区间响应≤1s，适合半导体等对流量稳定性严苛的工艺场景。

二、适用场景

半导体工艺气体供给、真空镀膜、光伏设备、工业热处理炉、生化分析仪器、燃料电池、医疗设备、实验室精密气路系统。

三、系列子型号说明

按流量量程划分：1.ST‑500‑0010：10SCCM2.ST‑500‑0100：100SCCM3.ST‑500‑01SL：1SLM4.ST‑500‑10SL：10SLM5.ST‑500‑30SL：30SLM

接口版本：1.W 密封接头 1.125"W‑Seal2.1/4"VCR 接头版本

支持气体种类、压差规格、通讯协议改型定制。简单改型交期 8‑12 周；全新结构开发 16‑24 周，需图纸确认以及样品验证。

四、核心参数

传感器类型：热式绕组流量传感器阀门形式：隔膜式金属密封比例电磁阀，常闭 NC额定供电：DC11‑25V，最大 5VA流量量程：10SCCM‑30SLM（N₂换算）控制范围：2‑100% FS控制精度：±1% S.P.（10‑100% FS）；±0.1% FS（2‑10% FS）重复性：±0.2% FS响应时间：≤1sPI 压力不敏感性能：供给压力 ±3PSI 波动，流量波动控制在 ±2% FS 以内（5‑100% FS）工作压差：50‑300kPa最大入口压力：350kPa接气材质：SUS316L、PTFE、Au 镀金、Co‑Ni 合金通讯接口：DeviceNet M12‑5pin；可选 EtherCAT本地显示：4 位数码显示屏产品重量：约 1000g安装方式：推荐水平法兰安装结构特性：前置压力传感器 PI 补偿，全金属隔膜密封，EP 电解抛光阀体，本地显示 + 数字通讯。

五、产品核心优势

1.PI 压力不敏感功能，供气压力突变时实时补偿阀开度，大幅抑制瞬时流量扰动，工艺稳定性显著优于普通 MFC。2. 全金属隔膜密封，SUS316L‑EP 电解抛光，适配高纯气体、腐蚀性工艺介质，泄漏率低。3. 高速响应≤1s，全量程高精度、高重复性，保障半导体精密工艺要求。4. 机身自带数码显示屏，可本地读取流量状态，无需上位机即可现场确认。5. 支持 DeviceNet、EtherCAT 工业总线，对接自动化设备便捷。6. 支持软件多量程切换，同一台设备可 30‑100% FS 之间切换量程，提升设备复用性。7. 两种工艺接头可选（W 密封、VCR），适配半导体气体面板安装。8. 支持量程、气体种类、通讯接口定制调整。