产品核心特点采用 PTFE 中空纤维膜，全部接液部件为氟树脂材质，耐酸碱、各类有机溶剂、光刻胶、稀释剂等腐蚀性流体。内部灌流结构，支持反向冲洗，便于清除膜面杂质。低流道阻力，适配微量低压流体输送。实现高精度脱气，有效去除流体内部溶解氧、二氧化碳，消除微气泡。体积小巧紧凑，可直接集成在紧凑型自动化设备内部。支持脱气、溶气双向工况；软管接头装配便捷，拆装维护简单。无金属接触药液，规避金属离子析出污染风险。

应用场景半导体微量光刻药液循环系统、溶剂型工业喷墨打印设备、实验室微量化学试剂回路、LCD 制程微量化学品输送装置、精密分析仪器药液管路。

使用注意事项运行压力不可超过 0.2MPa，防止膜丝破损；介质温度控制在 5~40℃区间；初次使用前建议进行流体相容性测试；定期维护冲洗，延缓膜元件污染堵塞。

标准型

模型	流速	外部尺寸	耐压	最高工作温度	联系	联系
模型	毫升/分钟	毫米	兆帕	℃	液侧	真空侧
PF-3T-SF	1-20	29×58×86	0.2	40	4x2 管出口	4x2 管出口
PF-03F	1-100	102φ×180	0.294	40	1/4 超级柱	遥控 1/8
PF-05F	1-100	102φ×180	0.294	40	1/4 超级柱	遥控 1/8
PF-10F	1-200	102φ×260	0.294	40	1/4 超级柱	遥控 1/8
PF-13F	1-300	102φ×260	0.294	40	1/4 超级柱	遥控 1/8
PF-28F	1-500	102φ×440	0.294	40	3/8 超级柱	遥控 1/8

低压损型

模型	流速	外部尺寸	耐压	最高工作温度	联系	联系
模型	毫升/分钟	毫米	兆帕	℃	液侧	真空侧
PF-13F(T)	1-500	102φ×260	0.294	40	1/4 超级柱	遥控 1/8
PF-26F(T)	1-500	140φ×450	0.294	40	10毫米超柱	RC 1/4

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简要描述：DIC 迪爱生 PF-03F 中空纤维脱气模组PF-03F 属于 PF-F 系列内部灌流式耐溶剂脱气模组，适配小流量腐蚀性药液、有机溶剂工况，可集成半导体设备、溶剂型喷墨装置、精密化学品循环系统。

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