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MIYUKI 美幸辉 BH-N100 两段式气动真空蝶阀

简要描述:MIYUKI 美幸辉 BH-N100 两段式气动真空蝶阀100A KF 快装法兰两段缓冲气动真空蝶阀,适配中大口径实验真空系统、中型连续镀膜、材料研发真空平台。双气缸三工位结构实现缓抽、缓破空与大通流抽排气,替代通断蝶阀搭配旁路针阀方案,有效缓冲管路气流冲击,保护大面积薄膜与样品;超薄高流导阀体搭配 KF 快拆法兰,拆装维护便捷,适用于实验真空系统搭建与真空设备改造替换。

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2026-07-28

浏览次数

19
详细介绍
品牌MIYUKI/美幸辉种类其他
压力环境低压工作温度常温
流动方向单向零部件及配件阀体
类型(通道位置)直通式3C阀门类别工业
应用领域化工,电子/电池,半导体,机械设备

MIYUKI 美幸辉 BH-N100 两段式气动真空蝶阀MIYUKI 美幸辉 BH-N100 两段式气动真空蝶阀
产品概述

BH 系列是日本 MIYUKI 美幸辉双气缸两段开度三工位气动真空蝶阀,在 B 系列通断蝶阀基础上升级两段缓冲控制结构,具备0° 全关、0~45° 可调半开、90° 全开三档位动作。单阀同时实现缓慢预抽 / 缓慢破真空与大通流快速抽排气,有效抑制气流湍流冲击,保护晶圆、光学膜片、精密工件,省去管路旁路针阀,简化真空系统布局。阀体采用超薄面间设计,流导性能优异;支持 JIS、ISO、KF (NW)、CF 多种法兰标准,通径覆盖 25A~350A,可直接替换日系、欧美进口真空镀膜、半导体原装阀门。

产品定位

BH-N100 为 MIYUKI 美幸辉 BH 系列 100A KF/NW 标准法兰两段缓冲气动真空蝶阀,适配中型科研真空实验平台、电子束蒸镀、薄膜沉积真空管路。双气缸三工位结构实现缓抽、缓破空与大通流抽排气,直接替代通断阀搭配旁路针阀方案,缓冲气流冲击保护薄膜与试样;阀体搭载标准 KF 快装法兰,依靠卡箍快速拆装,维护便捷,适用于科研真空系统搭建与进口真空设备改造替换。

型号释义

BH-N100
BH:两段双气缸三工位气动真空蝶阀
N:KF/NW 标准快装法兰
100:公称通径 100A

核心技术参数

品牌:MIYUKI 美幸辉
型号:BH-N100
通径:100A
连接标准:KF/NW 标准快装法兰
驱动形式:齿轮齿条双气缸气动驱动
工作压力区间:大气压~10⁻⁵Pa
整体内漏率:≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
阀杆轴封外漏:≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
驱动气源:0.4~0.6MPa 干燥洁净无油压缩空气
过流材质:SUS304 不锈钢,内腔镜面电解抛光
标准密封:FKM 氟橡胶 O 型圈;可选 Kalrez 全氟醚密封
安装方式:无角度限制,水平、垂直、倒置均可安装
信号配置:标配限位微动开关,反馈阀门位置信号,对接 PLC 时序控制

产品核心特点

  1. 两段可调开度(核心优势)

    双气缸三工位结构,半开角度 0~45° 外置旋钮无级设定。腔体预抽、破空阶段小开度缓冲,防止粉尘飞溅、工件冲击破损;达到设定真空度后切换全开快速抽气,一台阀门兼顾慢抽与快排。

  2. 气缸自带气垫缓冲

    紧凑型气缸内置末端空气缓冲,启闭冲击小、噪音低,降低密封件疲劳损耗,延长阀门使用寿命。

  3. 超薄阀体,高流导

    面间尺寸紧凑,同口径真空阀中通导表现优异,缩短腔体抽真空时长,提升产线稼动率。

  4. 洁净低析出设计

    内腔光滑抛光,低发尘、低气体析出,满足半导体、光学镀膜等高洁净工艺真空要求。

  5. 通用性强、改造便捷

    多法兰标准可选,兼容日系、欧美进口真空设备;无安装姿态限制,狭小设备内部管路易于布局。

  6. 自动化适配

    实时反馈阀门全开 / 全关位置信号,轻松接入真空产线自动化控制系统。

典型应用场景

✅ 半导体行业:晶圆 PVD 溅射、等离子清洗、薄膜沉积腔体预抽、破空管路✅ 光学光电:光学薄膜蒸镀、镜头真空镀膜、OLED 真空制程进口改造设备✅ 新能源:锂电池真空烘烤、注液、化成真空腔体✅ 科研真空:高真空实验舱、真空样品台、真空测试装置✅ 进口设备替换:直接替代进口产线原装两段式真空蝶阀

使用注意事项

  1. 气源必须使用干燥洁净压缩空气,建议配套气源过滤调压组件;

  2. 介质避免大量粉尘颗粒物,防止划伤密封面引发泄漏;

  3. 强腐蚀、高温工况可选用 Kalrez 全氟醚密封;

  4. 根据工况定期巡检,周期性更换 O 型密封圈;

  5. 如需连续线性压力调节,可选 BAR/BAZ 电动调节蝶阀系列。


BH 系列完整型号清单

BH-J(JIS 日标法兰)

BH-J25、BH-J40、BH-J50、BH-J65、BH-J80、BH-J100、BH-J150、BH-J200、BH-J250、BH-J300、BH-J350

BH-I(ISO 真空法兰)

BH-I25、BH-I40、BH-I50、BH-I65、BH-I80、BH-I100、BH-I150、BH-I200、BH-I250、BH-I300、BH-I350

BH-N(KF/NW 快装法兰)

BH-N25、BH-N40、BH-N50、BH-N65、BH-N80、BH-N100、BH-N150、BH-N200、BH-N250、BH-N300、BH-N350

BH-C(CF 超高真空刀口法兰)

BH-C25、BH-C40、BH-C50、BH-C65、BH-C80、BH-C100、BH-C150、BH-C200、BH-C250、BH-C300、BH-C350
备注:原厂 BH 系列最大通径 350A,无 400A 规格;400A 仅 B 系列通断蝶阀提供。































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