品牌	MIYUKI/美幸辉	种类	其他
压力环境	低压	工作温度	常温
流动方向	单向	零部件及配件	阀体
类型(通道位置)	直通式	3C阀门类别	工业
应用领域	化工,电子/电池,半导体,机械设备

MIYUKI 美幸辉 BH-I200 两段式气动真空蝶阀MIYUKI 美幸辉 BH-I200 两段式气动真空蝶阀

产品概述

BH 系列是日本 MIYUKI 美幸辉双气缸两段开度三工位气动真空蝶阀，在 B 系列通断蝶阀基础上升级两段缓冲控制结构，具备0° 全关、0~45° 可调半开、90° 全开三档位动作。单阀同时实现缓慢预抽 / 缓慢破真空与大通流快速抽排气，有效抑制气流湍流冲击，保护晶圆、光学膜片、精密工件，省去管路旁路针阀，简化真空系统布局。阀体采用超薄面间设计，流导性能优异；支持 JIS、ISO、KF (NW)、CF 多种法兰标准，通径覆盖 25A～350A，可直接替换日系、欧美进口真空镀膜、半导体原装阀门。

产品定位

BH-I200 为 MIYUKI 美幸辉 BH 系列 200A ISO 标准法兰两段缓冲气动真空蝶阀，适配大口径量产真空产线、光学镀膜、半导体 PVD 腔体预抽 / 破空管路。双气缸三工位结构实现缓抽、缓破空与大通流抽排气，直接替代进口两段式真空蝶阀，省去旁路针阀配置；超薄高流导阀体，搭载通用 ISO 法兰，适配光学光电、半导体、科研真空等标准化量产设备改造与新建产线。

型号释义

BH-I200

BH：两段双气缸三工位气动真空蝶阀

I：ISO 标准真空法兰

200：公称通径 200A

核心技术参数

品牌：MIYUKI 美幸辉

型号：BH-I200

通径：200A

连接标准：ISO 标准真空法兰

驱动形式：齿轮齿条双气缸气动驱动

工作压力区间：大气压～10⁻⁵Pa

整体内漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

阀杆轴封外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

驱动气源：0.4～0.6MPa 干燥洁净无油压缩空气

过流材质：SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光

标准密封：FKM 氟橡胶 O 型圈；可选 Kalrez 全氟醚密封

安装方式：无角度限制，水平、垂直、倒置均可安装

信号配置：标配限位微动开关，反馈阀门位置信号，对接 PLC 时序控制

典型应用场景

✅ 半导体行业：晶圆 PVD 溅射、等离子清洗、薄膜沉积腔体预抽、破空管路✅ 光学光电：光学薄膜蒸镀、镜头真空镀膜、OLED 真空制程进口改造设备✅ 新能源：锂电池真空烘烤、注液、化成真空腔体✅ 科研真空：高真空实验舱、真空样品台、真空测试装置✅ 进口设备替换：直接替代进口产线原装两段式真空蝶阀

使用注意事项

气源必须使用干燥洁净压缩空气，建议配套气源过滤调压组件；
介质避免大量粉尘颗粒物，防止划伤密封面引发泄漏；
强腐蚀、高温工况可选用 Kalrez 全氟醚密封；
根据工况定期巡检，周期性更换 O 型密封圈；
如需连续线性压力调节，可选 BAR/BAZ 电动调节蝶阀系列。

BH 系列完整型号清单

BH-J（JIS 日标法兰）

BH-J25、BH-J40、BH-J50、BH-J65、BH-J80、BH-J100、BH-J150、BH-J200、BH-J250、BH-J300、BH-J350

BH-I（ISO 真空法兰）

BH-I25、BH-I40、BH-I50、BH-I65、BH-I80、BH-I100、BH-I150、BH-I200、BH-I250、BH-I300、BH-I350

BH-N（KF/NW 快装法兰）

BH-N25、BH-N40、BH-N50、BH-N65、BH-N80、BH-N100、BH-N150、BH-N200、BH-N250、BH-N300、BH-N350

BH-C（CF 超高真空刀口法兰）

BH-C25、BH-C40、BH-C50、BH-C65、BH-C80、BH-C100、BH-C150、BH-C200、BH-C250、BH-C300、BH-C350

备注：原厂 BH 系列最大通径 350A，无 400A 规格；400A 仅 B 系列通断蝶阀提供。

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产品概述

产品定位

型号释义

核心技术参数

典型应用场景

使用注意事项

BH 系列完整型号清单

BH-J（JIS 日标法兰）

BH-I（ISO 真空法兰）

BH-N（KF/NW 快装法兰）

BH-C（CF 超高真空刀口法兰）

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