简要描述：MIYUKI 美幸辉 BH-J65 两段式气动真空蝶阀65A JIS 日标法兰两段缓冲气动真空蝶阀，面向日系中小型真空镀膜、半导体试样设备、锂电真空腔体开发。双气缸三工位结构兼具缓抽、缓破空与大通流抽排气能力，可替代通断蝶阀搭配旁路针阀方案，减轻气流冲击，保护晶圆与光学膜层；采用超薄高流导阀体，JIS 日标法兰适配日系设备，便于新机配套与旧阀改造。

MIYUKI 美幸辉 BH-J65 两段式气动真空蝶阀MIYUKI 美幸辉 BH-J65 两段式气动真空蝶阀
产品概述

型号命名规则

核心技术参数

产品核心特点

1. 两段可调开度（核心优势）

   双气缸三工位结构，半开角度 0~45° 外置旋钮无级设定。腔体预抽、破空阶段小开度缓冲，防止粉尘飞溅、工件冲击破损；达到设定真空度后切换全开快速抽气，一台阀门兼顾慢抽与快排。

2. 气缸自带气垫缓冲

   紧凑型气缸内置末端空气缓冲，启闭冲击小、噪音低，降低密封件疲劳损耗，延长阀门使用寿命。

3. 超薄阀体，高流导

   面间尺寸紧凑，同口径真空阀中通导表现优异，缩短腔体抽真空时长，提升产线稼动率。

4. 洁净低析出设计

   内腔光滑抛光，低发尘、低气体析出，满足半导体、光学镀膜等高洁净工艺真空要求。

5. 通用性强、改造便捷

   多法兰标准可选，兼容日系、欧美进口真空设备；无安装姿态限制，狭小设备内部管路易于布局。

6. 自动化适配

   实时反馈阀门全开 / 全关位置信号，轻松接入真空产线自动化控制系统。

典型应用场景

使用注意事项

1. 气源必须使用干燥洁净压缩空气，建议配套气源过滤调压组件；

2. 介质避免大量粉尘颗粒物，防止划伤密封面引发泄漏；

3. 强腐蚀、高温工况可选用 Kalrez 全氟醚密封；

4. 根据工况定期巡检，周期性更换 O 型密封圈；

5. 如需连续线性压力调节，可选 BAR/BAZ 电动调节蝶阀系列。

BH 系列完整型号清单

BH-J（JIS 日标法兰）

BH-I（ISO 真空法兰）

BH-N（KF/NW 快装法兰）

BH-C（CF 超高真空刀口法兰）

备注：原厂 BH 系列最大通径 350A，无 400A 规格；400A 仅 B 系列通断蝶阀提供。