品牌	MIYUKI/美幸辉	种类	其他
压力环境	低压	工作温度	常温
流动方向	单向	零部件及配件	阀体
类型(通道位置)	直通式	3C阀门类别	工业
应用领域	化工,电子/电池,半导体,机械设备

MIYUKI 美幸辉 B-I300 气动真空蝶阀MIYUKI 美幸辉 B-I300 气动真空蝶阀

特征

01. 尽管尺寸很小，但气缸打开时推力加倍（确保可靠运行），并在行程末端提供气垫效应（减轻冲击）。
02. 关闭时，阀体密封。
03. 安装位置或安装方向没有限制。
04. 层间距非常薄，因此具有优异的导电性能。
05. 组装和检验在洁净室中进行。

核

核心规格参数

品牌：MIYUKI 美幸辉

型号：B-I300

通径：300A

连接标准：ISO 真空法兰

驱动形式：齿轮齿条式气动驱动

标准配置：双作用；可选弹簧复位 NC 常闭 / NO 常开

阀体材质：SUS304 不锈钢镜面抛光

密封材质：FKM 氟橡胶 O 型密封圈；可选 Kalrez 全氟醚密封

极限漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

适用压力区间：大气压～10⁻⁵Pa 高真空

驱动气源压力：0.4～0.6 MPa

介质适用温度：-20℃～80℃

安装方式：可任意角度安装

自带配置：行程限位反馈开关

可选配件：电磁阀、气源调压过滤器

产品核心特点

高流导超薄阀体
300A 大通径下流导性能突出，超薄面间结构大幅降低真空管路气流阻力，提升大型腔体抽气速率，适配宽幅量产产线快速排气工艺。
一体式齿轮齿条执行器
传动零部件精简、故障率低；气缸内置末端空气缓冲，启闭冲击小，减轻振动，延长密封件使用寿命；透明视窗内置限位开关，可实时输出阀门启闭信号，便于产线自动化 PLC 联动。
高真空密封性能
阀板全关位压紧 FKM 氟橡胶密封圈实现可靠径向密封，气密性优良，满足大型真空主管路隔离切断需求。
洁净低析出工艺
阀体内腔光滑，无尘车间组装检测，气体析出量低，适配半导体 PVD、宽幅光学镀膜等高洁净真空进口量产设备改造场景；ISO 法兰匹配欧美进口真空设备管路标准。
维护便捷
模块化结构设计，密封圈拆装更换简单，长期连续量产工况运维成本更低。

典型应用场景

宽幅大型真空腔体主管路通断隔离

进口大面积光学镀膜、溅射、蒸发设备真空抽气主回路

半导体量产设备大型工艺腔体真空隔离管路

光伏薄膜、LCD 宽幅真空连续制程生产线

科研大型高真空实验装置

使用注意事项

气源必须使用干燥洁净压缩空气，建议配套调压过滤器；
介质避免粉尘、固体颗粒，防止划伤密封面导致漏率上升；
禁止长期超温运行，高温工况可咨询更换特种密封件；
定期检漏，根据工况周期更换氟橡胶密封圈；
不适用于含有大量油雾、强腐蚀性气体的工况。

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