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特征
01. 尽管尺寸很小,但气缸打开时推力加倍(确保可靠运行),并在行程末端提供气垫效应(减轻冲击)。
02. 关闭时,阀体密封。
03. 安装位置或安装方向没有限制。
04. 层间距非常薄,因此具有优异的导电性能。
05. 组装和检验在洁净室中进行。
高流导超薄阀体
200A 大通径下流导性能突出,超薄面间结构大幅降低真空管路气流阻力,提升大型腔体抽气速率,适配宽幅量产产线快速排气工艺。
一体式齿轮齿条执行器
传动零部件精简、故障率低;气缸内置末端空气缓冲,启闭冲击小,减轻振动,延长密封件使用寿命;透明视窗内置限位开关,可实时输出阀门启闭信号,便于产线自动化 PLC 联动。
高真空密封性能
阀板全关位压紧 FKM 氟橡胶密封圈实现可靠径向密封,气密性优良,满足大型真空主管路隔离切断需求。
洁净低析出工艺
阀体内腔光滑,无尘车间组装检测,气体析出量低,适配半导体 PVD、大面积光学镀膜等高洁净真空进口量产设备改造场景;ISO 法兰匹配欧美进口真空设备管路标准。
维护便捷
模块化结构设计,密封圈拆装更换简单,长期连续量产工况运维成本更低。
气源必须使用干燥洁净压缩空气,建议配套调压过滤器;
介质避免粉尘、固体颗粒,防止划伤密封面导致漏率上升;
禁止长期超温运行,高温工况可咨询更换特种密封件;
定期检漏,根据工况周期更换氟橡胶密封圈;
不适用于含有大量油雾、强腐蚀性气体的工况。
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