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特征
01. 尽管尺寸很小,但气缸打开时推力加倍(确保可靠运行),并在行程末端提供气垫效应(减轻冲击)。
02. 关闭时,阀体密封。
03. 安装位置或安装方向没有限制。
04. 层间距非常薄,因此具有优异的导电性能。
05. 组装和检验在洁净室中进行。
高流导设计
同口径下流导性能,超薄阀体结构大幅降低管路气流阻力,提升真空抽气效率,适合快速排气工艺回路。
齿轮齿条驱动,可靠性强
传动结构简约,零部件少,故障率低;执行器内置缓冲结构,阀门启闭冲击小,减少振动,延长密封件使用寿命。
集成式位置反馈
执行器自带 OPEN/CLOSE 开关指示与限位开关,可实时输出阀门启闭信号,便于自动化设备联动控制。
高洁净真空适配
阀体内腔光滑,低析出设计,洁净车间完成装配与检测,满足半导体、镀膜设备洁净真空工艺要求。
维护便捷
模块化结构,密封圈拆装更换简单,长期连续生产工况维护成本更低。
B-J25、B-J50、B-J100、B-I150、B-I200(后缀 J=JIS 法兰,I=ISO 法兰)
气源必须使用干燥洁净压缩空气,建议配套调压过滤器;
介质避免粉尘、固体颗粒,防止划伤密封面导致漏率上升;
禁止长期超温运行,高温工况可咨询更换特种密封件;
定期检漏,根据工况周期更换氟橡胶密封圈;
不适用于含有大量油雾、强腐蚀性气体的工况。
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