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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 低压 | 工作温度 | 常温 |
| 流动方向 | 单向 | 零部件及配件 | 阀体 |
| 类型(通道位置) | 直动式 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 化工,电子/电池,半导体,机械设备 |
主气缸 + 副调节气缸双缸结构(GH 系列,G/L 系列不具备)
主气缸负责全开 / 全关;副气缸可预先锁定任意中间开度。粗抽阶段使用小开度缓慢排气,避免气流冲击扬起腔内微粒;真空达标后切换全开快速抽气。无需额外并联调节阀,简化真空管路布局,节约设备空间与成本。
闭阀推力倍增 + 气缸气垫缓冲(继承 G 系列优势)
关阀瞬间推力放大;行程末端空气缓冲,降低阀板撞击震动,减缓密封圈磨损,支持长期高频启闭。
等距球压均衡密封机构
密封面多点均匀受压,双向承压,抗背压能力强,腔体压差波动工况长期密封稳定。
侧置气缸紧凑布局
侧向布置驱动气缸,整机轴向长度更短,适合大型设备狭小空间管路排布。
全 SUS304 不锈钢阀板
刚度高、耐冲击、耐久优于 L 系列铝合金阀板。
低放气洁净真空腔体
SUS304 不锈钢阀体真空钎焊 + 内腔电解抛光,无积气死角,出气速率低,满足高洁净高真空工艺。
标准化洁净出厂检测
百级洁净室装配,逐台氦气泄漏检测。
驱动方式:双缸组合气动(主气缸 + 调节副气缸)
气源条件:0.4~0.6 MPa 干燥洁净压缩空气
工作压力区间:大气压~\(1×10^\ \text\)
泄漏指标
壳体漏率:≤\(1×10^\ \text^3/\text\)
阀座密封漏率:≤\(1×10^\ \text^3/\text\)
介质接触材质
阀体:SUS304 不锈钢
阀板:SUS304 不锈钢
密封件:FKM 氟橡胶 O 形圈
可选配件:磁感应位置反馈开关,接入 PLC 识别全开 / 中间开度 / 全关状态
使用说明:常规型号不支持持续高温烘烤