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【仓库现货】日本EBARA荏原 EV-A10-2S 风冷干式真空泵 1000L/min 单相200V

更新时间:2026-10-22

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近期我司新推出升级了日本EBARA荏原 EV-A10-2S 风冷干式真空泵,目前深圳仓库有原装现货,1000 L/min 抽速与单相200V供电的组合,为半导体、锂电及实验室洁净真空工位提供了一套免水冷、免复杂配电的紧凑型干式方案。 该产品属于荏原EV-A10系列多级罗茨干式真空泵,型号后缀“2S"代表单相200–240V供电版本,整机采用全风冷结构,无需外接冷却水,从根源上消除了水路泄漏与结垢维护负担。作为日系品牌代理,我们可提供选型咨询、操作指导和配件支持。本文从单相200V与全风冷设计的工程价值、五级罗茨无油洁净技术、核心参数与应用适配、以及仓库现货的交付优势四个维度进行解析。

一、单相200V + 全风冷:降低集成门槛的两项设计

EV-A10-2S在工程集成上最直接的特点是“电"和“水"两个配套条件的简化。

单相200–240V市电直启。 后缀“2S"明确指向单相供电版本,对应电压AC200–240V、50/60Hz、电压波动允许±10%。这意味着设备可以直接接入常规实验室或产线机柜的单相电源,不需要为真空泵单独配置三相动力电,也不需要额外的变频器或启动柜。对于空间紧凑、配电容量有限的检测工位和研发设备,这一特性显著降低了电气配套的复杂度。

全风冷,无需冷却水。 整机采用强制风冷散热,不设冷却水管路。在无尘车间、分析实验室或设备机柜内部,往往不具备敷设冷却水管的条件;即使有条件,水路也带来漏水、结垢和日常巡检的维护负担。风冷结构使EV-A10-2S只需电源即可运行,安装位置不再受水路走向的约束,尤其适合机台内置或台面旁就近部署。

这两项设计叠加,使EV-A10-2S成为一款“接电即用"的干式真空泵,对于产线改造和实验室设备配套而言,缩短了从设备到场到投入运行的时间。

二、五级非接触罗茨:无油洁净与大气压抽速优势

EV-A10-2S采用五级非接触罗茨转子结构,转子由同步齿轮驱动,在泵腔内非接触运转,泵的真空容积内无润滑油,齿轮润滑腔与气体通道隔离。这一结构的核心收益体现在两个方面。

无油洁净真空。 半导体Load-lock、PVD预抽和锂电注液前脱气等工序对碳氢污染敏感,油封泵的返油风险是这类场景的排除项。EV-A10-2S的干式结构从原理上杜绝了油蒸气进入工艺腔体的可能,输出洁净真空。与涡旋泵相比,EV-A10-2S没有会磨损产生颗粒的端部密封件,避免了因密封磨损导致的极限压力漂移和颗粒污染风险。

大气压区间抽速突出。 EV-A10-2S的最大抽速为1000 L/min,大气压下的抽速仍可达800 L/min。EV-A系列的设计取向本身即强调大气压附近的排气速度特性,适合反复从大气抽真空的工况。对于Load-lock腔体频繁破真空、或者成套设备需要多次预抽的场景,这一特性意味着更短的腔体恢复时间,相比同等标称抽速但大气压性能衰减的泵型,实际节拍更有优势。

三、核心参数与应用适配

参数项EV-A10-2S
泵类型多级罗茨风冷干式真空泵(无油)
最大抽速1000 L/min(60 m³/h)
大气压抽速800 L/min
极限真空(气镇关/开)1.0 Pa / 2.0 Pa
最大水蒸气处理量500 g/h
电源单相AC200–240V,50/60Hz,±10%
极限真空运行功率约1.1 kW
进气/排气接口NW40(KF40)/ NW25或NW40(视配置)
噪音≤58 dB(A)
重量约75 kg
外形尺寸W317×D544×H367 mm
合规认证CE、SEMI-S2

以上参数综合自产品技术资料。

气镇功能与水汽处理。 EV-A10-2S标配可开关气镇阀,气镇开启时最大水蒸气排出量为500 g/h,极限真空为2.0 Pa。对于锂电烘烤、注液前预抽等可能夹带微量水汽的工序,气镇功能可以防止水汽在泵腔内凝结,保持泵体长期运行的稳定性。

典型应用覆盖。 该型号适用于半导体Load-lock腔体、PVD溅射预抽、中小型工艺腔体脱气;锂电行业的注液、烘烤、干燥工序真空预抽;科研实验室的真空腔体、热处理和真空干燥设备;以及需要反复破真空、多次从大气抽真空的通用成套设备。不具备耐强腐蚀配置的机型不适用于高浓度腐蚀性气体工况,若工艺中存在轻微腐蚀性介质,可向代理确认氮气吹扫组件的选配方案。

四、仓库现货的交付价值

EV-A10-2S作为半导体和实验室场景的常用小流量干泵,常规渠道的进口交期往往在数周以上。目前该型号在深圳仓库有原装现货库存,对于设备维修替换、产线紧急扩容或研发项目赶节点的情况,仓库现货意味着无需等待海外订货周期,可当天安排出货。同时,现货渠道可配套供应真空管件、过滤器、KF密封件等附件,减少采购环节的分段等待。

选型提示。 若工位需要频繁搬运或在极度受限空间内安装,可评估同系列更轻量的EV-PA250;若需要更大抽速或三相供电配置,可向代理咨询EV-A10-3(三相版本)或EV-A系列其他型号。采购EV-A10-2S时,请确认进气口径(NW40/KF40)、电源条件(单相200–240V)以及是否需要氮气吹扫或排气过滤器等选配。


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