更新时间:2026-10-17
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近日,我司新推出了日本FLUORO福乐(フロロメカニック)M100-150 窥视杠杆锁镊子。该产品为M100系列中针对6英寸(150mm)半导体硅晶圆设计的规格,采用PEEK一体成型材质与杠杆锁式夹持方案,仅夹持晶圆边缘安全区,面向晶圆厂、封装测试线及实验室的精细搬运与检测场景。目前原装现货在库,下单即可安排发货。
一、6英寸晶圆搬运的隐性污染风险,如何破解?
在半导体无尘车间,6英寸晶圆的手动搬运往往容易被忽视一个细节:传统金属镊子虽然坚固,但金属材质与晶圆边缘长期摩擦,极易产生微小的金属碎屑,甚至析出金属离子污染晶圆功能面;而带胶水粘接的镊子,在老化后也可能释放有机物。对于良率要求高的晶圆厂而言,这种隐性污染是致命的。FLUORO福乐 M100-150 给出的解决方案是:抛弃金属与胶水,用PEEK材质一体成型。
二、PEEK一体成型,纯净无污染的夹持体验
M100-150主体采用PEEK(聚醚醚酮) 材质一体成型,整支镊子无金属铆钉、无粘接胶水,从根本上杜绝了金属离子析出和有机物污染的风险。PEEK材质不仅具备优异的耐化学性,连续使用温度更可达130℃,能够短时间拿取冷却后的高温晶圆。镊子长度147mm,重量仅31g,轻量化设计让单手操作灵活自如,长时间作业也不易疲劳。
三、杠杆锁 + 限位挡块,防滑脱更安心
传统镊子需要操作人员全程用力捏紧,时间一长手指极易酸痛,夹持力也随之衰减。M100-150采用杠杆锁式(Lever Lock)机构,按压一次即可自动锁定,夹紧力恒定不受手指疲劳影响;再次按压轻松释放。晶圆夹持点仅位于侧边安全区(上方接触32mm,下方接触5mm),不触碰正反面功能面。端头特别设计限位挡块,防止晶圆推入过深或滑脱,接触面经光学抛光处理,大幅减少崩边和微粒产生。
四、无需气源,随拿随用的纯机械工具
M100-150不需要连接真空泵、气管或吸嘴,是一把纯粹的机械夹取工具。在机台应急取样、实验室快速抽检,或是未配置真空吸笔的工位,拿起来就能直接使用,极大提升了现场操作的便捷性。
五、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 品牌 | FLUORO福乐 |
| 型号 | M100-150 |
| 类型 | 手动镊子(杠杆锁式) |
| 适用晶圆尺寸 | 6英寸(150mm) |
| 主体材质 | PEEK(聚醚醚酮) |
| 夹持方式 | 两点外缘夹持,带限位挡块 |
| 结构特点 | 一体式成型,无金属件、无粘接胶水 |
| 尺寸(W×L) | 37×147mm |
| 接触边缘 | 上方32mm,下方5mm |
| 重量 | 31g |
| 耐温 | 连续130℃ |
| 适配环境 | Class100-1000无尘室,仅限干式 |
六、同系列选型参考
| 型号 | 材质 | 适用晶圆 | 尺寸(mm) | 重量 |
|---|---|---|---|---|
| M100-100 | PEEK | 4英寸 | 16×146 | 30g |
| M100-125 | PEEK | 5英寸 | 32×148 | 31g |
| M100-150 | PEEK | 6英寸 | 37×147 | 31g |
| M100-200 | PEEK | 8英寸 | 37×147 | 32g |
| E100-150 | 导电PEEK | 6英寸 | 37×147 | 33g |
M100-150为PEEK绝缘款标准规格,适合常规取放;若晶圆对静电极为敏感,可选择同尺寸的E100-150导电PEEK防静电款。
七、适用行业与场景
半导体制造:6英寸硅晶圆手动搬运、检测台取放、设备内腔拾取
封装测试:6英寸晶圆、小尺寸基板的夹持搬运
光学行业:光学镜片、滤光片的无损转移
科研实验室:探针台样品拆解、薄片易碎样品的手动转移
化合物半导体:碳化硅、氮化镓等6英寸及以下晶圆的精细夹持
八、现货库存信息
FLUORO福乐 M100-150 手动镊子目前原装现货在库,下单即可安排发货。我司同时供应同系列M100-100(4英寸)、M100-125(5英寸)、M100-200(8英寸)规格及E100-150防静电款,配套耗材包括替换夹爪、防静电接地线等。可针对不同晶圆尺寸和操作习惯匹配手动夹具与真空吸笔方案,并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价,欢迎随时联系我司销售团队。