新品!福乐FLUORO C002-D-X-103 真空吸笔，专为高精度元件而生
更新时间：2026-10-10
浏览次数：8
近日，我司正式推出日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C002-D-X-103 防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中配备X型360°万向旋转接头与103加长金属导杆的主力规格，采用NO常开型阀体，笔身采用碳纤维增强导电尼龙材质，吸嘴采用导电PEEK材质，专为半导体8英寸硅晶圆、精密芯片、MEMS器件等对静电防护和无损取放有严苛要求的干式无尘场景开发。目前原装现货在库，含吸笔主机及103金属导杆，下单即可安排发货。
一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运
FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），总部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有超过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。
二、C002-D-X-103：X万向接头 + 103加长导管配置
C002-D-X-103是FLUORO C系列导电型真空吸笔中兼顾灵活操作与中等深度腔体取放的全能款规格，专为8英寸硅晶圆及高精度元件的无尘取放而开发。
型号释义：
| 编码 | 含义 |
|---|---|
| C002 | C系列导电防静电款，NO常开阀体，接通真空即吸附，按下按钮释放，无锁止开关 |
| D | 笔身本体，标准直型设计，手动真空控制阀，无需外接电磁阀，手指即可控制吸附与释放 |
| X | X型360°万向旋转接头，吸头可多角度自由偏转，适配腔体内部狭小工位 |
| 103 | 103加长金属导杆规格，中等长度导杆，用于中等深度腔体内部取料作业 |
三、核心技术解析：NO常开阀体 + 全域防静电 + X万向接头
① NO常开阀体，接通真空即吸附。 C002-D-X-103采用NO（Normally Open）常开型阀体。接通真空源后即保持吸附状态，将吸嘴轻触工件表面即可自动吸附；放下工件时只需按下顶端按钮，即可切断真空释放工件，松开按钮吸力自动恢复。长时间手持作业无需持续按压按键，有效降低操作人员手部疲劳，适合半导体产线中需要快速取放、连续搬运的工位。内部阀芯采用氟树脂密封结构，阀体内壁经抛光处理，高频次反复按压依旧气密性稳定，不易漏气失效。
② 全域防静电防护，保障晶圆良率。 在半导体制造中，静电放电（ESD）是导致晶圆良率损失的隐形杀手。C002-D-X-103笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） 制成，吸嘴采用导电PEEK材质，两者构成完整的静电泄放通路。表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。整机无尖锐外露金属件，作业过程避免晶片镀膜刮伤。
③ X型360°万向旋转接头，腔体内灵活对位。 C002-D-X-103采用X型球状万向旋转接头，软管连接处可360°自由转动，软管拉扯不会带动笔身偏移。在设备腔体深处、夹具夹缝位置取拿晶片时操作更加灵活顺手，倾斜工位也可以垂直贴合工件表面，降低碎片风险。与Y型固定式接头相比，X型万向接头在设备腔体内部、异形工位等空间受限场景中更具灵活性。
④ 103加长金属导杆，深入中等深度腔体取放。 103规格的加长金属导杆专为中等深度腔体内部取料作业设计。可深入设备腔体、载具、治具内部进行晶圆取放作业，无需拆解设备，特别适合机台内部、探针台等空间受限工位的精密搬运。
⑤ 模块化可更换吸嘴，一支笔覆盖多尺寸工件。 吸嘴采用快拆结构，兼容FLUORO C系列全系配套吸嘴，可快速更换26-0.5、100、103、106、161等多款不同孔径吸嘴，覆盖小型裸芯片、mini晶片、光学镜片、陶瓷薄片等多种尺寸工件。吸嘴为独立消耗件，磨损后单独更换，无需更换整支笔身，降低长期运维成本。
⑥ 低发尘洁净设计，适配百级至千级洁净室。 笔身内壁镜面抛光，不易附着粉尘颗粒，满足Class100～1000洁净车间使用要求。吸嘴接触柔和，不会划伤晶圆镀膜、光刻胶层。
四、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 品牌 | FLUORO福乐 |
| 型号 | C002-D-X-103 |
| 系列 | C系列（导电型） |
| 阀体种类 | NO（常开型，接通真空即吸附，按键释放） |
| 连接种类 | X型360°万向旋转接头 |
| 笔身材质 | 碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） |
| 吸嘴材质 | 导电PEEK（聚醚醚酮），镜面抛光处理 |
| 表面电阻率 | 10⁶～10⁸Ω |
| 工作负压 | 0～-80kPa可调 |
| 加长金属导杆 | 103规格，中等长度 |
| 整机重量 | 约23～28g |
| 适配管径 | Φ3×5 / Φ4×6 |
| 使用环境 | Class100～1000洁净室，仅限干式工况 |
| 产地 | 日本 |
五、C系列选型对比
| 型号 | 阀门逻辑 | 接头类型 | 核心差异 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| C001 | NC常闭型 | Y/X | 按压吸附，松开释放 | 短时间频繁取放 |
| C002 | NO常开型 | X（万向） | 接通真空即吸附，按下按钮释放 | 腔体深处取放，精密元件连续搬运 |
| C003 | NO+SW | Y/X | 常开吸附+独立锁止开关 | 长时间持料转运、静置校准 |
C002-D-X-103的NO常开逻辑在半导体精密元件量产线上操作简洁高效，X型万向接头使其在腔体内部取放场景中比Y型固定式接头更具灵活性；C003的独立锁止开关则适合需要长时间保持吸附状态的晶圆长距离转运。
六、配套真空泵方案
FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C002-D-X-103吸笔专用负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。
| 型号 | 最大负压 | 适配吸笔 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| FV-10-240 | -80kPa | C002/C003/F002 | 小芯片、4～6寸晶圆 |
| FV-30-240 | -84kPa | C002/C003/F002 | 4～8寸晶圆主流选型 |
| FV-60-240 | -88kPa | C002/C003/F002 | 8～12寸大重量/翘曲晶圆 |
整机无油设计，杜绝油污污染晶圆，进气口和排气口均内置HEPA过滤器。
七、适用行业与场景
半导体制程：8寸硅晶圆手动搬运，探针台测试上下料、研磨划片工序取样、设备中等深度腔体取放
芯片封装测试：MEMS器件、LED晶片、薄型精密元器件拾取，替代传统金属镊子
光学行业：镀膜玻璃基板、光学滤光片无尘搬运，保护表面镀膜层
化合物半导体：碳化硅衬底、氮化镓晶片基板的防静电取放
Mini-LED/面板：薄型陶瓷基板、mini晶片的手动拾取
科研实验室：薄脆陶瓷片、光电薄片样品的精密转移取样
八、现货库存信息
FLUORO福乐 C002-D-X-103 防静电真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机及103金属导杆，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（26-0.5、100、103、106、161等规格）、替换103金属导杆、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。
