日本原装 FLUORO 福乐｜现货 FV‑60‑110 低噪音干式真空泵

近期我司推出了FV-60-110 低噪音干式真空泵。凭借洁净无油、低噪音及高负压的产品特性，该产品在推介会现场获得了众多客户的高度关注。目前，该产品现货库存充足，下单即可安排发货。

一次污染，足以报废整批晶圆
在推介会的技术分享环节，我司技术负责人指出：在半导体产线上，真空吸笔的负压来源通常有两种选择：车间集中供气的压缩空气，或老旧的旋片式油泵。这两种方案都存在一个共同的风险——油雾。旋片式油泵在工作过程中会产生油蒸气，通过真空管路进入吸笔笔身，最终在吸嘴接触晶圆背面的瞬间，将微量油污转移到硅片表面。对于12寸晶圆产线而言，单片晶圆的价值可达数万元，一次油污污染就足以造成整批报废。而车间集中压缩空气虽然不含油，但空气中所含的水分、颗粒物和管道锈蚀碎屑，同样会对晶圆表面造成不可逆的污染。

FV-60-110 的价值，在于从源头切断污染路径
在本次推介会中，我司重点展示了 FLUORO福乐 FV-60-110 无油隔膜真空泵。它不依赖车间压缩空气管路，插上220V交流电源即可独立工作，从源头切断集中供气系统的油污和水汽污染路径。更关键的是，FV-60-110在吸气口和排气口两端均内置HEPA过滤器，对0.3微米以上颗粒的过滤效率达到99.97%，排出的气体不含油雾和颗粒，即使放置在洁净室内部使用，也不会对车间环境造成二次污染。

FV-60-110 的四个技术支点
第一个支点：洁净动力输出。 FV-60-110采用无油隔膜结构，泵腔内不使用任何润滑油，从根本上杜绝了油蒸气对晶圆表面的污染风险。整机达到Class100/1000洁净室使用标准，适配半导体无尘车间环境。
第二个支点：内置HEPA双向过滤。 设备在进气口和排气口均安装了HEPA过滤器，机体上设有透明观察窗，操作人员可以随时目视确认滤芯的污染程度，据此判断更换时机，避免因滤芯失效导致污染泄漏。
第三个支点：-80kPa高负压输出。 FV-60-110的极限吸入压力可达-80kPa（-600mmHg），在2.5L/min流量下仍能维持强劲的吸附力。这一负压水平足以稳定抓取12寸整片晶圆，即使面对薄硅片或易翘曲的化合物半导体基板，也能保障拾取过程中工件不滑落。
第四个支点：电磁直驱低噪音设计。 与传统的电机驱动泵不同，FV-60-110采用电磁驱动方式，取消了碳刷和机械接触部件。机身结构密封，运行噪音控制在45dB以下，在安静的洁净室环境中不会产生刺耳异响。同时，由于机械磨损极少，泵体几乎无需日常维护，理论耐久时间超过8760小时。

与FLUORO吸笔的完整配套逻辑
FV-60-110并非独立使用的真空泵，而是FLUORO晶圆真空吸笔系统的动力核心。FV-60-110可以驱动1至2支C系列或F系列吸笔同时作业，适配8寸和12寸晶圆搬运工位。在实际使用中，操作人员将吸笔的气管接入泵体接口，打开电源即可获得稳定的负压输出。泵体尺寸仅为137×88×133mm，重量1250g，可以直接放置在操作台面上或固定在设备机架内部，不占用额外工位空间。

现货信息
借此次推介会契机，我司已完成 FLUORO福乐 FV-60-110 的批量备货。目前现货在库，含主机及配套管件，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括HEPA滤芯替换套装、抗静电真空软管（Φ3×5 / Φ4×6）、静电消散接地装置、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、吸笔型号和产线布局匹配真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。