现货 FLUORO 福乐 C003‑Y‑92‑CP 半导体硅片吸笔 PEEK 吸头

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C003-Y-92-CP防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中专为8寸半导体硅晶圆设计的规格，采用NO+SW（常开+开关）阀门与固定式接头，笔身采用导电尼龙材质，吸笔头采用导电PEEK材质，面向半导体晶圆搬运、封装测试、探针台操作等对静电防护有严苛要求的场景，目前整套的现货在库，含吸笔主机及92-CP吸笔头，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），总部位于东京都江户川区，自1983年开发并发售真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有超过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。

二、C003-Y-92-CP：为8寸硅片而生的防静电吸笔

C003-Y-92-CP是FLUORO C系列导电型真空吸笔中专门针对8寸（200mm）半导体硅晶圆设计的规格。型号中“C003"代表C系列导电型笔身，采用NO+SW阀门系统；“Y"代表固定式接头；“92-CP"代表适配8寸晶圆的导电PEEK吸笔头。该规格在半导体8寸产线的晶圆搬运、检测台取放、设备内腔拾取等工位中应用广泛。

三、核心防静电机制：完整静电泄放通路

在半导体制造中，静电放电（ESD）是导致晶圆良率损失的隐形杀手。FLUORO C003-Y-92-CP通过笔身导电尼龙材质与吸笔头导电PEEK材质构成完整的静电泄放通路，表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。该电阻率区间符合ESD管控标准，适配百级、千级无尘防静电车间使用。

四、核心产品特性

① NO+SW阀门，兼顾连续作业与中途释放。 C003-Y-92-CP采用NO+SW（常开+开关）阀门设计。与C002纯常开型相比，C003在常开基础上增加了真空切断开关——常态下保持真空吸附，操作人员无需持续按压；按压笔身按钮即可释放工件，适合需要长时间持料转运、中途停机检测的复合工位。与C001常闭型“按压吸附、松开释放"的逻辑不同，C003的NO+SW设计更适合8寸晶圆量产工位的连续搬运作业，大幅降低操作人员手部疲劳。

② 固定式接头，垂直重载拾取稳定不偏移。 C003-Y-92-CP采用Y型固定式接头设计，笔身与吸嘴直线刚性连接，无活动万向关节。垂直下压受力均匀，抓取厚重的8寸整片晶圆时不偏移、不打滑，适配标准化垂直对位产线。与X型球状旋转接头侧重多角度灵活操作不同，Y型固定式接头主打定点稳定重载拾取，尤其适合8寸整片晶圆的搬运需求。

③ 传导性尼龙笔身，轻量耐用。 笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA）制成，兼具优异的物性和导电性能。内部阀门部分使用氟树脂，通过特殊成型方法在周围覆盖碳纤维，在保证气密性的同时实现了轻快的阀门开闭动作，长时间握持作业不易疲劳。

④ 导电PEEK吸笔头，镜面抛光不划伤。 吸笔头采用耐化学品、耐热、强韧的PEEK树脂素材，经机械加工后进行热处理和镜面加工，长期使用仍能维持稳定性能。通过添加碳纳米管，在低填料含量下实现了高水平的导电性管理，拾取晶圆时不会产生划痕或碎屑。

⑤ 阀体内壁精细抛光，低发尘适配洁净室。 阀体内壁经过精细抛光处理，最大限度减少阀芯运动过程中因摩擦产生的颗粒，满足洁净室环境对颗粒污染的严格要求。整套吸笔采用无油设计，笔身表面光洁，适配Class10-1000洁净环境使用。

⑥ 模块化可更换设计，降低使用成本。 笔身阀体、金属轴、吸笔头三者独立拆分，吸笔头为独立消耗件，老化磨损后仅需更换前端耗材，无需更换整支吸笔。可快速替换90/91/92/95/96/97/99-CP全系吸头，覆盖微型芯片、5/6/8/12寸整片晶圆、光学镜片，一套吸笔适配多道制程工序。

五、主要技术规格

六、配套真空泵方案

FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C003-Y-92-CP吸笔专用负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。FV系列包含FV-10（入门微型）、FV-30（产线通用款）、FV-60（高真空主力）等型号，其中FV-60-240（AC220-240V版本）适配国内市电直接使用。整机无油设计，杜绝油污污染晶圆。

七、适用行业与场景

• 半导体制造：8寸硅晶圆手动搬运，探针台测试、晶圆贴膜、划片、封装工序

• 半导体封装测试：8寸硅晶圆、微型晶粒、射频陶瓷基板取放

• 洁净室环境：符合无尘标准，适配百级、千级无尘车间高精度生产需求

• 光学行业：光学镜片、滤光片、光器件无损转移

• 科研实验室：探针台样品拆解分拣、薄片易碎精密样品手动转移

八、现货库存信息

FLUORO福乐C003-Y-92-CP防静电真空吸笔目前现货在库，含吸笔主机及92-CP吸笔头，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸笔头（90/91/92/95/96/97/99-CP系列）、替换金属轴、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。