现货 FLUORO 福乐晶圆真空吸笔整套 半导体硅片拾取防静电

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）晶圆真空吸笔整套方案，涵盖C系列防静电款与F系列耐化学款两大产品线，搭配FV系列无油隔膜真空泵及各类可更换吸嘴，面向半导体晶圆搬运、封装测试、光学元件装配等对静电防护与无损操作有严苛要求的场景，目前整货在库，含吸笔主机、吸嘴、真空泵及配套软管，下单即可安排发货。

一、专注晶圆拾取四十余年，半导体精密搬运的专业厂商

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），总部位于东京都江户川区，自1983年开发并发售真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，产品线覆盖真空吸笔、手动镊子、真空泵、吸嘴及配套管道等。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。

二、核心防静电机制：完整静电泄放通路

FLUORO抗静电系列真空吸笔通过笔身传导性尼龙材质与吸笔头传导性PEEK材质构成完整的静电泄放通路，表面电阻率控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可有效消除人体或环境接触产生的静电荷积聚。在PECVD等离子体增强沉积工艺、晶圆边缘抛光或硅片参数测试等对静电敏感的工序中，选用FLUORO抗静电真空吸笔可显著降低因静电击穿所导致的良率损失。

三、C系列与F系列：两大产品线的选型逻辑

FLUORO真空吸笔根据工艺环境提供C系列（导电型）与F系列（耐化学腐蚀型）两大精密分支。

C系列｜防静电干式款。 笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂，吸嘴采用导电PEEK聚醚醚酮镜面抛光处理，主打ESD防静电防护，适用于光刻前晶圆转移、探针台测试、封装工序等干式无尘工位，适配百级、千级无尘车间使用，低发尘结构不会对工件表面引入颗粒污染。

F系列｜耐化学湿法款。 笔身主体采用PTFE（4F-特氟龙）氟树脂材质，可直接接触酸碱蚀刻药液，主要用于半导体湿法清洗、刻蚀后带药液硅片、碳化硅基板、化合物半导体晶圆的取放转运。

四、核心产品特性

① 模块化可更换吸嘴，降低长期使用成本。 笔身阀体、连接套管、吸嘴三者相互独立拆分，吸嘴为独立消耗件，不与笔身做成一体，吸嘴老化磨损后仅更换前端耗材，无需更换整支吸笔。拆装吸嘴无需螺丝刀等工具，洁净车间内可快速切换不同规格吸嘴，拆装后仍可保证真空流路气密性。

② 阀门模式可选，适配不同操作节奏。 C系列提供NC常闭型（C001）、NO常开型（C002）及NO+SW自锁型（C003）三种阀门模式。自锁型拨动锁扣即可维持真空吸附，无需全程按压阀门，转运、对位、静置观测阶段无需持续施力，有效缓解长时间作业手部疲劳。F系列为NO常开型，接通真空常态保持吸附，按下按钮切断真空释放工件，适合湿法产线连续作业。

③ 接头灵活可选，适配不同槽体空间。 型号后缀中Y代表固定式接头，刚性强，适合常规台面及药液槽作业；X代表360°万向球状旋转接头，多角度调节，适合槽体内部狭小空间取片。

④ 负压范围宽，适配多种工件重量。 整套方案支持0～-80kPa负压范围，可稳定抓取从0.1g到500g的微小或敏感部件，避免划伤、污染或静电损伤。

⑤ 兼容多种吸嘴，覆盖4寸至12寸晶圆。 标配多种吸嘴规格，可快速更换以适配4寸至12寸晶圆及不同形状工件。吸嘴材质可选导电PEEK、耐磨Vespel、PCTFE及长条晶圆吸盘吸嘴等，根据工件尺寸和工艺环境灵活匹配。

五、型号配置速查

六、配套真空泵方案

FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C系列、F系列真空吸笔专用负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。FV系列包含FV-10（入门微型）、FV-30（产线通用款）、FV-60（高真空主力）等型号，其中FV-60-240（AC220-240V版本）适配国内市电直接使用，支持6-8寸晶圆吸笔。整机无油设计，杜绝油污污染晶圆导致良率报废。

七、适用行业与场景

• 半导体制造：硅晶圆、碳化硅晶圆手动搬运，探针台测试、晶圆贴膜、划片、封装工序

• 半导体封装测试：硅晶圆、碳化硅薄片、微型晶粒、射频陶瓷基板取放

• 湿法工艺：清洗、刻蚀后带药液硅片、化合物半导体晶圆的取放转运

• 光学行业：光学镜片、滤光片、光器件无损转移

• 精密电子：LED、微型芯片、BGA、电容电阻等微小元器件拾取摆放

• 科研实验室：探针台样品拆解分拣、薄片易碎精密样品手动转移

八、现货库存信息

FLUORO福乐晶圆真空吸笔整套方案目前现货在库，含吸笔主机、吸嘴、FV系列真空泵及配套软管，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括各类替换吸嘴（导电PEEK/Vespel/PCTFE/硅胶吸盘）、替换吸杆（21/30/46/54mm）、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。