USHIO牛尾 UVD-S365 分体式紫外受光器正式上线，原装现货库存充足

近日，我司新推出了USHIO（牛尾）UVD-S365分体式紫外受光器（探头） 。该产品为UNIMETER系列UVA波段检测模块，需搭配UIT-250等主机使用，面向半导体光刻、PCB曝光、UV固化、印刷油墨固化等精密紫外制程的照度与积算光量测量场景，目前原装现货在库，下单即可安排发货。

一、专业光源厂商的模块化检测方案

USHIO（牛尾）创立于1964年，以工业光源制造起家，产品覆盖从真空紫外到红外波段的完整光谱范围，在半导体、液晶显示、电子元件等制造用光设备领域拥有深厚的技术积累。UNIMETER系列正是基于光学设备制造经验开发的紧凑型光测量产品，UVD-S365作为该系列的分体式受光模块，以“主机换探头、一机覆盖全波段"的模块化思路，降低企业多波长检测的设备投入。

二、核心产品特性

① φ1mm微小受光口径，精准采集局部光斑。 UVD-S365的受光直径仅为φ1mm，空间分辨率高，专门用于测量小光斑、曝光台面单点、图案区域等局部点位照度。普通大口径探头无法准确测量的小光斑，该探头可精准采集中心辐照度，弥补大面积探头测量笼统的短板。

② 窄带滤光，365nm波长精确测量。 感度波长范围310～390nm，校准中心波长365nm，内置窄带干涉滤光片，有效滤除可见光及红外杂散光，仅保留目标UVA波段。适配传统高压汞灯、金属卤素UV灯及365nm UV-LED光源，广泛用于i-line光刻、UV固化等工艺的照度监测。

③ 分体式结构，探头可伸入设备内部。 S代表Separate分体结构，探头体积小巧，标配2米BNC信号线，可搭配延长线缆最长扩展至20米。探头伸入曝光腔体、固化箱、灯箱等密闭高温环境，主机置于设备外侧操作，避免高温环境对主机的损伤。

④ 即插即用，更换无需二次校准。 BNC标准接口，与UIT-250主机即插即用，接入后主机自动识别探头参数，无需人工设定波长。依托主机可采集实时照度、峰值照度、积分光量及最长4分钟的照度连续曲线，为工艺参数调整提供量化数据支撑。

⑤ 原厂溯源校准，精度可靠。 校准精度±5%，非线性≤±1%，温度依存性-0.2%/℃，响应时间≤1s。采用USHIO原厂溯源绝对值校准体系，购买时标准附带校正成绩书、校正证明书及溯源体系图。建议每6个月校准一次，以持续保证测量精度。

三、主要技术规格

四、适用行业与场景

• 半导体制造：晶圆光刻曝光工序的紫外照度与积算光量监测

• PCB制造：FPC柔性线路板、PCB电路板阻焊油墨曝光能量抽检，干膜曝光点检

• 电子制造：芯片、连接器UV胶粘接固化能量检测

• 印刷涂装：丝网印刷UV油墨、木器UV涂料、上光油固化隧道内辐照强度监测

• 光学行业：光学镜片UV涂层固化、光敏树脂3D打印曝光能量验证

• 光源老化试验：持续监测UV光源长期使用后的光衰变化，评估灯管、LED模组使用寿命

五、现货库存信息

UVD-S365受光器目前原装现货在库，下单即可安排发货。我司同时供应配套附件，包括延长电缆（2m/5m/10m/15m/20m）、耐屈型电缆、遮热保护罩、UVD-TK温度探头等。可针对不同紫外制程的波长和照度范围匹配探头方案，并提供选型咨询、装机指导及备件长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。