更新时间:2026-09-22
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近日,我司新推出了USHIO(牛尾)UIT-250紫外积算光量计,搭配UVD-365PD分体式受光探头。该组合面向半导体光刻、PCB曝光、UV固化等精密紫外制程的照度管控场景,目前原装现货在库,可快速交付。
一、专业光源厂商的测量利器
USHIO(牛尾)创立于1964年,以工业光源制造起家,产品覆盖从真空紫外到红外波段的完整光谱范围,在半导体、液晶显示、电子元件等制造用光设备领域拥有深厚的技术积累。其UNIMETER系列紫外测量仪器,正是基于光学设备制造经验开发的紧凑型光测量产品。
二、核心产品特性
① 模块化分体结构,探头可伸入设备内部。 UIT-250采用主机与受光探头分离的模块化设计。UVD-365PD探头体积小巧,标配2米信号线,可搭配延长线缆最长扩展至20米,探头伸入曝光腔体、固化箱内部,主机置于设备外侧操作,避免高温环境对主机的损伤。
② φ1mm微小受光口径,精准采集点光源。 UVD-365PD的受光口径仅为φ1mm,空间分辨率高,专门用于测量小光斑、窄光束及曝光机内部狭小空间点位的紫外辐照度。普通大口径探头无法准确测量的小光斑,该探头可精准采集点光源中心辐照度。
③ 窄带滤光,365nm波长精确测量。 UVD-365PD感度波长范围330~390nm,校准中心波长365nm,内置窄带干涉滤光片,有效滤除可见光及红外杂散光,仅保留目标紫外波段。适配高压汞灯及365nm UV-LED光源,广泛用于i-line光刻工艺的照度监测。
④ 多功能测量模式,满足产线全场景需求。 UIT-250支持实时照度、峰值照度、积算光量、照度分布、点光照度及温度分布等多种测量模式。LCD显示屏为4位照度/5位积分光量双显示,内置存储器可记录最长4分钟的照度测量数据,并支持RS232串口与PC通信导出数据。
⑤ 原厂溯源校准,精度可靠。 UVD-365PD校准精度±5%,非线性≤±1%,采用原厂溯源绝对值校准体系,购买时标准附带校准证明书和溯源体系图。建议每6个月进行一次校准,以持续保证测量精度。
三、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 主机型号 | UIT-250 |
| 探头型号 | UVD-365PD(分体式) |
| 感度波长范围 | 330~390nm |
| 校准中心波长 | 365nm |
| 受光口径 | φ1mm |
| 校准精度 | ±5% |
| 非线性 | ≤±1% |
| 量程(H档) | 0~500 mW/cm² |
| 显示 | LCD,4位照度/5位积分光量 |
| 存储功能 | 最长4分钟照度分布记录 |
| 通信接口 | RS232串口 |
| 延长线 | 标配2m,可扩展至20m |
| 电源 | 7号干电池×3(或AC适配器) |
| 重量 | 约250g |
四、适用行业与场景
半导体制造:晶圆光刻曝光工序中i-line(365nm)曝光灯光强监测
PCB制造:干膜、阻焊油墨接触式曝光机台面照度均匀度点检
液晶面板:彩色滤光片曝光制程的紫外照度管控
UV固化:UV-A(365nm)硬化装置的工艺过程管理
印刷行业:UV油墨固化产线的照度监测
科研院所:光刻胶配方实验、紫外辐照度标定及光化学研究
五、现货库存信息
UIT-250主机及UVD-365PD探头目前原装现货在库,下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件,包括:
延长线缆(2m/5m/10m/15m/20m)
耐弯曲延长线缆(2m/5m/10m/15m)
遮热保护罩(UV传送带测量用)
UVD-TK温度测量探头(0~350℃)
各类替换受光探头(UVD-S254/S313/S365/S405、VUV-S172等)
我司可针对不同紫外制程的波长和照度范围匹配探头方案,并提供装机调试、数据采集指导及备件长期供应等一站式服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价,欢迎随时联系我司销售团队。
我司优势代理品牌:坂口电热 SAKAGUCHI、EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克:、SANKO三高、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、UILVAC爱发科、TORAY东丽、EBARA荏原、ANALYZER第一热研、NFK南国工业株式会社、MATSUO松尾、NIKKATO日陶、HEIDON新东科学、JIKCO吉高、0TSUKA大塚电子、ITOH伊藤、日本MTL、THOMAS、kakuhunter写真化学、WATSON沃森、RIYYO理阳、ESSGES宜格斯、ATAGO爱拓、PFERD马圈、TEMITOP乐控TSUBAKI椿本、MIYUKI 美幸辉