更新时间:2026-08-27
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8 英寸大尺寸晶圆进行手动转运时,晶圆面积大,薄片、镀膜硅片更容易出现受力不均衡、局部压伤、静电损伤、吸附打滑掉落等状况。针对 8 英寸硅片无尘搬运的实际工况,近期我司新推出升级了 FLUORO 福乐 92‑CP 防静电真空吸嘴,现货库存可快速交付,减少晶圆碎片以及表面不良问题,提高产线作业良率。
92‑CP 采用 Y 型三爪三点接触结构,三点对称贴合晶圆表面,受力分布均匀,厚片、薄片、镀膜晶圆都可以实现平稳吸附,降低晶圆形变、崩边、局部压痕划伤,对光刻胶、镀膜层形成有效保护。吸嘴本体采用高纯度导电 PEEK 材质,触感柔和,不会划伤工件表面,同时拥有稳定的静电耗散能力,作业过程快速释放静电,避免静电击穿电路、元器件损坏,满足百级千级高等级无尘防静电车间使用条件。
整体结构刚性充足,抗变形能力强,适合直线搬运作业,兼容福乐 C 系列真空吸笔笔身。模块化分体设计,吸嘴可以单独拆装更换,不用整套更换吸笔,减少产线运维开销。表面经过洁净处理,低发尘,可执行洁净室常规清洗流程,多次使用后吸附面依旧平整,不容易残留颗粒污染晶圆。
适配 8 英寸硅晶圆、玻璃基板、陶瓷晶片、大尺寸光学基板等工件拾取搬运,对接车间现有真空源即可投入使用,操作简单易上手。
多用于半导体晶圆检测、芯片封装、镀膜加工、失效分析实验室、来料分拣、光学器件加工等场景,研发小批量试样以及工厂量产流水线都可以使用,是 8 英寸晶圆手动搬运的可靠配套耗材。