更新时间:2026-08-24
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半导体 6 英寸晶圆手动取放作业,对防静电防护、吸附稳定性、操作手感有着严苛标准,FLUORO 福乐全新 851‑M 真空镊子正式上新,现货库存可快速交付,针对 6 英寸晶圆转运场景优化,解决普通夹持工具静电损伤硅片、吸附打滑、长时间作业手部酸痛等问题。
手柄主体采用碳纤维复合导电尼龙材质,整机轻量化设计,握持手感舒适,同时具备稳定的静电耗散能力,作业过程可及时导出静电,规避静电击穿晶圆电路的风险,适配高等级无尘防静电车间使用。产品为常闭阀结构,外接真空泵之后,按压开关触发真空吸附,松开按键释放工件,单手即可完成拾取、移位、放置整套操作,产线长时间连续作业手腕不易疲劳。
采用螺丝锁紧式连接结构,吸头拆装调节便捷,可更换多款规格导电吸嘴,专门适配 6 英寸硅晶圆,吸附受力均匀,降低晶圆崩边、表面划伤概率。阀体经过耐久优化,反复按压不易出现卡顿、漏气,真空吸力输出平稳,搬运过程不易出现掉件故障。
采用模块化设计,吸嘴等损耗配件可以单独替换,无需整体更换手柄,降低产线运维开销。设备需要搭配 FV‑10、FV‑30、FV‑60、FV‑XP 系列真空泵配套使用,管路对接简单,现场调试工作量小,到手即可投入工位使用。
广泛应用于半导体晶圆检测、芯片封装、实验室研发试样、光学基板处理等场景,兼顾研发小批量调试与产线批量作业,为 6 英寸晶圆手动搬运提供安全可靠的操作方案。