日本原装 EV‑X100N 干式真空泵全新到货

更新时间：2026-08-18

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EBARA 荏原 EV‑X100N 半导体级无油干式真空泵全新入库，整机日本生产，现货库存充足，可快速响应各类项目订单，解决进口设备订货周期久导致的项目进度滞后问题，是半导体制程、精密镀膜、科研真空系统十分优选的前级真空泵。

EV‑X100N 针对中小负荷半导体工艺开发，采用全无油干式螺杆结构，泵腔内部不使用润滑油，整机采用风冷散热，无需布置水冷管路以及冷却机组，减少现场配套施工，设备摆放不受场地条件限制。从根源避免油雾反流污染真空腔体，持续输出高洁净真空，满足各类精密制程对于腔体洁净度的严格要求。

转子采用高精度非接触运转结构，运动部件之间不存在直接摩擦，运行过程不会产生粉尘碎屑。对比传统油旋片泵，省去频繁更换泵油、过滤滤芯等周期性保养工作，有效减少后期维护工时以及物料消耗。机身做紧凑型优化设计，占地面积小，既可以机架独立落地使用，也能够集成装配到整套真空设备当中，设备布局灵活，适配多种安装条件。

整机经过减振降噪调校，运行振动小，噪音表现良好，不会对周边精密仪器、光学元器件产生干扰。兼容 50Hz/60Hz 双工况电网，国内工业现场直接通电即可运行，不需要额外加装变频配件。搭载完备的电控监测系统，具备过载保护、超温报警、故障信号输出功能，能够对接上位机实现状态监控，降低突发停机带来的生产损耗。处理带有微量腐蚀性工艺气体时，可选配氮气吹扫、防腐强化组件，进一步拓宽工艺适用范围。

适用于半导体装载锁、等离子处理、PVD 镀膜、真空检漏、质谱仪器、电子显微镜、科研实验真空腔体等场景，可直接替代老式油式真空泵以及老旧干式真空泵，提升真空环境品质，降低设备全周期运行成本。

本次到货均为日本原装全新整机，整机性能一致性稳定，现货可支持样机验证、设备配套、批量项目采购，有效缩短客户项目等待周期。