FLUORO 福乐｜品牌产品介绍 现货库存

一、FLUORO 福乐是干什么的

FLUORO 福乐（Fluoro‑Mechanic）来自日本，是半导体无尘车间晶圆、晶片专用手动真空拾取工具Fluoro Mec...。简单来说就是用于无尘环境下，不用镊子直接触碰，依靠真空吸力拿取硅晶圆、SiC 碳化硅晶片、光学薄片的手持真空吸笔（真空镊子）整套系统。专门解决薄片工件容易划伤、静电击穿、药液腐蚀的搬运痛点，大量用在半导体研发实验室与产线工位。

整套系统不是单支笔，是完整一套方案：真空吸笔本体 + 可更换吸嘴吸盘 + ESD 防静电伸缩软管 + FV 系列无油隔膜真空泵，四个部分组合完成晶片吸取作业。

二、产品线分类

1、C 系列（防静电 ESD 干式款）

黑色导电树脂机身，主打防静电防护，干式无尘工位使用。适合普通无尘工作台、晶圆检测、显微镜观测、芯片分选，不能长时间接触酸碱药液。代表型号：C001‑D‑X‑106、C002‑D‑Y‑161‑99、C003‑D‑Y‑161；阀体分两种操控形式：点动按压吸附释放；自锁持续吸附，按下按键卸料；支持 360° 万向旋转杆 X 版本、直杆 Y 版本。适配晶圆范围 2‑12 寸硅片、化合物半导体裸芯片。

2、F 系列（氟树脂耐化学湿法款）

笔身整体 PTFE 特氟龙氟树脂材质，耐酸碱蚀刻药液，可以直接用于湿法清洗槽、蚀刻槽取片。硅片在药液里面捞取转移就选 F 系列；同样分点动阀体、持续吸附阀体；也有万向旋转 X 杆、直杆 Y 杆。代表型号：F001‑D‑X‑101、F002‑D‑X‑100。

3、851 系列防静电 ESD 真空伸缩软管

分 851‑M（小号）、851‑L（大号），螺旋弹簧伸缩管路，连接真空泵和吸笔。本体基材导电，不是表层喷涂导电涂层，反复伸缩摩擦依旧维持防静电性能；M 适配中小型吸笔 2‑6 寸晶片；L 适配大流量 6‑8 寸晶圆吸笔。

4、FV 系列无油隔膜真空泵

整套吸笔系统配套负压源，无油设计，不会产生油气污染洁净室，专门给 FLUORO 真空吸笔提供真空负压；型号 FV‑10、FV‑30、FV‑60。

5、配套耗材

各类规格吸嘴 / 吸盘、吸笔放置支架；不同尺寸吸盘可以灵活更换，一支笔更换吸盘就可以适配多种尺寸晶片，不用多采购笔本体，降低耗材成本。

三、FLUORO 福乐产品怎么样

✅ 优点1、洁净低发尘：材质管控微粒析出，适配 Class100、Class1000 无尘洁净室，保护晶圆表面，减少颗粒污染；2、ESD 防静电防护到位：C 系列导电树脂本体、851 软管本体导电，整套通路实现静电泄放，规避 SiC/GaN 晶片静电击穿报废风险；3、湿法工况解决方案齐全：F 系列全氟树脂机型直接接触酸碱药液，湿法制程取片的专用工具；4、模块化设计：吸嘴吸盘全部独立可更换；万向旋转杆版本适配狭小工位，操作灵活，人体工学轻量化，长时间手持不累。

⚠️ 需要留意的局限1、F 系列氟树脂吸笔虽然耐药液，但也有溶剂耐受范围，强氧化剂仍要核对材质；2、851‑M/L 聚氨酯防静电软管不能浸泡药液，湿法工位软管要做好防护；3、属于手动手持工具，只适合人工工位，不能直接用于自动化设备。

四、主要应用行业

• 半导体行业：硅晶圆、碳化硅、氮化镓晶片，清洗、检测、封装工序人工取放；

• 光学行业：石英基板、蓝宝石薄片、光学镜片无尘拾取；

• 光伏新能源：薄型硅片样品搬运；

• 高校、研究所微纳实验室，样品晶片转移操作。

五、供货情况

主流常用型号 C 系列、F 系列真空吸笔，851‑M、851‑L 软管，FV 真空泵部分型号有现货库存；小众特殊规格吸嘴、特殊阀体为订货。