EBARA 荏原 EV-PA 系列干式真空泵 应用案例

EV-PA 为无齿轮多级罗茨风冷干泵，主打轻载洁净真空，整机免维护、低振动低噪音，无需冷却水，近期我司新推出升级了多款规格，多用于半导体后段、精密分析仪器、实验室科研、新能源小样制备，作为分子泵配套前级真空泵。下面为一线落地应用案例（非原文）。

案例 1：半导体后段封装工艺（芯片键合、塑封、层压）

工况：半导体封装产线，芯片 Bonding 键合、Molding 塑封、基板层压，腔体需要洁净预抽真空，气体干净，几乎没有粉尘与腐蚀性副产物。选用机型：EV-PA250 / EV-PA500应用要点封装车间无尘环境，不能有油雾污染芯片。EV-PA 无齿轮无油结构，不会产生齿轮磨损粉尘；风冷设计，不用铺设冷却水，设备集成商直接嵌入封装机台内部。低振动特性，保障芯片对位精度。使用收益：连续运行 3 年以上无需常规保养，省去定期换油、更换密封件的工作，大幅降低产线维护工时。

案例 2：SEM/CD-SEM、氦质谱检漏仪配套前级泵

工况：晶圆检测设备 CD-SEM、FE-SEM 扫描电镜，氦检检漏台，搭配涡轮分子泵获取高真空，EV-PA 作为前级粗抽泵。选用机型：EV-PA250应用要点电镜、表面分析仪器对振动、有机污染极其敏感。EV-PA 噪音低于 58dB (A)，振动小，不会干扰图像采集；全无油结构，不会发生返油污染腔体、污染样品。自带气镇阀，处理检测过程中少量水汽。使用收益：替代老旧涡旋泵、油封泵，消除油雾带来的腔体污染风险，减少仪器停机清洁频次。

案例 3：实验室分析仪器（GC-MS、ICP-MS、XPS、XRD）

工况：高校、第三方检测实验室，质谱仪、X 射线光电子能谱、XRD 衍射仪，样品分析腔体抽真空。选用机型：EV-PA250 台式摆放应用要点实验室空间有限，单相 220V 供电，无需三相电、无需水冷管路，接线即可投入使用。无油设计，避免碳氢化合物干扰谱图基线，保证检测数据稳定。使用收益：台式放置，移动方便；长期免维护，科研人员不用花费精力做泵体保养。

案例 4：新能源锂电小样真空干燥与电芯预抽

工况：锂电研发线，软包电芯真空干燥、注液前预抽真空，去除电芯内部溶剂水汽，洁净无腐蚀气体。选用机型：EV-PA500应用要点开启气镇阀，将水蒸汽及时排出泵腔，防止水汽凝结在转子上。风冷结构，放置在干燥房内没有漏水隐患。使用收益：无油污染电芯，保障电池样品品质；适合研发打样、小批量试制，不适合大规模量产高水汽连续工况。

案例 5：小型 Loadlock 真空锁腔体预抽

工况：泛半导体小型镀膜、光学镀膜设备 Loadlock 腔体，样品进出腔体预抽真空，洁净工艺，副产物极少。选用机型：EV-PA250应用要点作为前级泵快速把腔体从大气压抽到中真空，为分子泵创造前级真空条件。体积轻巧，可以安装在机台底部狭小空间。

区分提示：如果是 PVD、刻蚀等带粉尘、腐蚀性气体的前制程腔体，优先选用 EV-S 系列，不推荐 EV-PA。

选型与使用边界（一线经验）

✅ 适合：洁净、无粉尘、无强卤素腐蚀气体，少量水汽工况；半导体后段、检测仪器、实验室、小型镀膜、检漏。❌ 不适合：大量固体粉末、高浓度腐蚀性卤素气体、高可凝蒸汽重制程，这类工况选 EV-S 防腐款、EV-M。

EV-PA 与 EV-S 应用场景简单对比

EV-PA：无齿轮免维护，低噪低振；适合检测仪器、封装、实验室；轻洁净、几乎无副产物EV-S：爪式带齿轮，可选防腐；适合 Loadlock、PVD，可应对轻度腐蚀气体。