EBARA 荏原 EV-S 系列干式真空泵工作原理

荏原 EV-S 属于无油爪式干式真空泵，是专为半导体轻载洁净真空工况开发的小型干泵，依靠一对相互啮合的爪型转子实现气体输送，全程无油润滑，不存在油液接触被抽气体。

泵腔内部装有一对同步反向旋转的爪形转子，两个转子保持微小间隙、互不接触。转子转动过程分为三个阶段：吸气、隔离压缩、排气。

1. 吸气阶段：转子转动，泵腔容积由小变大，入口侧形成负压，机台腔体里的工艺气体被吸入爪腔内部。

2. 隔离压缩阶段：转子继续旋转，吸气口被转子齿封闭，吸入的气体被隔离在密闭容腔内；随着腔体容积逐步缩小，气体被压缩。转子之间、转子与泵体留有精密间隙，依靠间隙密封，没有接触摩擦，无需润滑油。

3. 排气阶段：当压缩后的气体压力达到排气侧阈值，腔体连通排气口，气体被排出泵腔，送往后端尾气处理装置。

驱动端配置同步齿轮，保证两个爪转子保持精准相位、互不触碰；电机采用无刷电机，支持变频调速，可以根据负载自动调节转速，也就是前面提到的怠速休眠功能。

配套辅助系统

EV-S 可搭载氮气吹扫回路（选配）。少量高纯氮气持续通入泵腔间隙，一方面阻止可凝性副产物、粉尘附着沉积在转子表面；另一方面阻挡腐蚀性气体侵蚀泵体内壁，延长泵使用寿命。吹扫氮气不参与气体压缩，只是起到保护、稀释作用。

核心特点（原理带来的特性）

1. 爪式无接触结构，无油，不会产生油蒸汽返流，满足半导体洁净工艺要求；

2. 变频电机可调节抽速，轻载时自动降速，降低能耗与噪音；

3. 风冷结构，不需要冷却水，整机结构简化；

4. 依靠间隙密封，极限真空会受间隙影响，所以定位轻载洁净工艺，不适合处理大量粉体、高可凝蒸汽的重制程。

工艺应用逻辑

半导体设备 Loadlock 腔、PVD 腔体，需要快速抽到中真空。EV-S 作为前级泵，为分子泵提供前级真空。腔体排气被 EV-S 抽走，因为无油，不会污染晶圆与腔体内精密部件。